[實用新型]一種靶材厚度檢驗裝置

有效

• 申請號: 201721350510.7
• 申請日: 2017-10-19
• 公開（公告）號: CN207423066U
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 白秋云
• 申請（專利權）人: 成都超純應用材料有限責任公司
• 主分類號: G01B5/06
• 分類號: G01B5/06
• 代理公司: 成都睿道專利代理事務所(普通合伙) 51217
• 代理人: 薛波

本實用新型公開了一種靶材厚度檢驗裝置，包括工作平臺、矩形底板、第一水平板和第二水平板，所述工作平臺上設置有多個均勻分布的螺紋孔，所述矩形底板包括通過螺栓固定在工作平臺上的凹字型板和滑動板，所述凹字型板上設置有用于滑動板在凹字型板上滑動的矩形通槽，所述滑動板上設置有用于放置被檢驗靶材的凹槽，所述第一水平板和第二水平板均固定在凹字型板上，所述第一水平板相對于凹槽底面的距離與靶材的預設最大厚度相同，所述第二水平板相對于凹槽底面的距離與靶材的預設最小厚度相同。本實用新型的靶材厚度檢驗裝置，該裝置檢驗靶材過程簡單快捷，而且不會出現人為因素造成的檢測誤差，為公司節約了更多的人力物力。

技術領域

本實用新型屬于靶材檢測技術領域，具體涉及一種靶材厚度檢驗裝置。

背景技術

靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的殺傷破壞效應。

但是靶材生產過程中會出現厚度不均勻現象，為了避免成品中出現類似情況，通常的辦法是抽檢，但是由于靶材數量過多，抽檢也是非常大的工作量。

實用新型內容

本實用新型的目的在于：針對上述存在的問題，提供了一種靶材厚度檢驗裝置，該裝置檢驗靶材過程簡單快捷，而且不會出現人為因素造成的檢測誤差，為公司節約了更多的人力物力。

為了實現上述目的，本實用新型采用的技術方案為：本實用新型公開了一種靶材厚度檢驗裝置，包括工作平臺、矩形底板、第一水平板和第二水平板，所述工作平臺上設置有多個均勻分布的螺紋孔，所述矩形底板包括通過螺栓固定在工作平臺上的凹字型板和滑動板，所述凹字型板上設置有用于滑動板在凹字型板上滑動的矩形通槽，所述滑動板上設置有用于放置被檢驗靶材的凹槽，所述第一水平板和第二水平板均固定在凹字型板上，所述第一水平板相對于凹槽底面的距離與靶材的預設最大厚度相同，所述第二水平板相對于凹槽底面的距離與靶材的預設最小厚度相同。

優選的是，所述工作平臺的底面設置有平衡調節螺母，所述工作平臺的工作面上設置有水平氣泡。

優選的是，所述滑動板在垂直于滑動方向的兩個端面上均設置有拉環。

優選的是，所述凹槽的四個側壁均設置有一層橡膠表層。

優選的是，所述矩形通槽的兩個側壁上設置有與其長度方向平行的限位通槽，所述滑動板上有限位通槽相匹配的凸起。

由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是：

本實用新型的靶材厚度檢驗裝置將被檢測靶材放置在滑動板的凹槽內，并且在凹字型板上固定有第一水平板和第二水平板，根據靶材厚度自身存在公差范圍，第一水平板與凹槽底面的距離和靶材的最大厚度為相同，第二水平板與凹槽底面的距離和靶材的最小厚度為相同，滑動板帶動靶材沿矩形通槽滑動，能通過第一水平板與矩形通槽之間的間隙，并且不能通過第二水平板與矩形通槽之間的間隙，該靶材為合格產品，該裝置檢驗方法簡便，容易操作，不會出現人為因素造成的檢測誤差。

附圖說明

圖1是本實用新型的靶材厚度檢驗裝置的結構示意圖；

圖2是本實用新型的靶材厚度檢驗裝置的工作平臺的結構示意圖；

圖3是本實用新型的靶材厚度檢驗裝置的矩形底板的結構示意圖；

圖4是本實用新型的靶材厚度檢驗裝置的滑動板的結構示意圖；

圖5是本實用新型的靶材厚度檢驗裝置的凹字型板的結構示意圖；