[實用新型]一種靶材厚度檢驗裝置

有效

• 申請號: 201721350510.7
• 申請日: 2017-10-19
• 公開（公告）號: CN207423066U
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 白秋云
• 申請（專利權）人: 成都超純應用材料有限責任公司
• 主分類號: G01B5/06
• 分類號: G01B5/06
• 代理公司: 成都睿道專利代理事務所(普通合伙) 51217
• 代理人: 薛波

1.一種靶材厚度檢驗裝置，其特征在于，包括工作平臺(1)、矩形底板(2)、第一水平板(3)和第二水平板(4)，所述工作平臺(1)上設置有多個均勻分布的螺紋孔(12)，所述矩形底板(2)包括通過螺栓固定在工作平臺(1)上的凹字型板(21)和滑動板(20)，所述凹字型板(21)上設置有用于滑動板(20)在凹字型板(21)上滑動的矩形通槽(210)，所述滑動板(20)上設置有用于放置被檢驗靶材的凹槽(200)，所述第一水平板(3)和第二水平板(4)均固定在凹字型板(21)上，所述第一水平板(3)相對于凹槽(200)底面的距離與靶材的預設最大厚度相同，所述第二水平板(4)相對于凹槽(200)底面的距離與靶材的預設最小厚度相同。

2.如權利要求1所述的靶材厚度檢驗裝置，其特征在于，所述工作平臺(1)的底面設置有平衡調節螺母(11)，所述工作平臺(1)的工作面上設置有水平氣泡(13)。

3.如權利要求1所述的靶材厚度檢驗裝置，其特征在于，所述滑動板(20)在垂直于滑動方向的兩個端面上均設置有拉環(202)。

4.如權利要求1所述的靶材厚度檢驗裝置，其特征在于，所述凹槽(200)的四個側壁均設置有一層橡膠表層。

5.如權利要求1所述的靶材厚度檢驗裝置，其特征在于，所述矩形通槽(210)的兩個側壁上設置有與其長度方向平行的限位通槽(211)，所述滑動板(20)上有限位通槽(211)相匹配的凸起(201)。