[實(shí)用新型]一種晶圓夾持裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721346405.6
• 申請(qǐng)日: 2017-10-19
• 公開（公告）號(hào): CN207529917U
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王子菲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

一種晶圓夾持裝置，它包括晶圓承載板體、定位塊、氣動(dòng)執(zhí)行器、直線導(dǎo)軌、滑塊、壓力傳感器、卡塊、位置傳感器。所述晶圓承載板體安裝固定在機(jī)械手臂的末端手臂內(nèi)，板體上面安裝四個(gè)晶圓定位塊，直接承載晶圓；所述氣動(dòng)執(zhí)行器安裝固定機(jī)械手臂的末端手臂內(nèi)，氣動(dòng)執(zhí)行器底端設(shè)有位置傳感器，氣動(dòng)執(zhí)行器前端上的滑桿連接在滑塊上；所述滑塊安裝在直線導(dǎo)軌上；所述壓力傳感器安裝固定在滑塊上，并通過(guò)線纜連接到控制器；所述卡塊安裝固定在壓力傳感器上。本實(shí)用新型可在傳輸晶圓時(shí)時(shí)，控制器根據(jù)壓力傳感器的數(shù)據(jù)，實(shí)時(shí)調(diào)整氣動(dòng)執(zhí)行器的氣體壓力，使卡塊卡住晶圓，防止晶圓在高速傳輸時(shí)脫落。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種晶圓傳輸裝置，尤其涉及一種晶圓末端執(zhí)行器夾持裝置。

背景技術(shù)

晶圓作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)材料，是由單晶硅或多晶硅制作而成的一種較薄的圓片，由于材料特性，晶圓比較易碎，其中在傳輸晶圓時(shí)，因機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)速度較快而使晶圓脫落致?lián)p壞破碎的情況較多，不僅造成原料損失，也影響正常生產(chǎn)進(jìn)度；

為此，本實(shí)用新型特設(shè)計(jì)一種晶圓夾持裝置，通過(guò)在機(jī)械手臂的末端安裝壓力傳感器，使控制器可以在傳輸晶圓時(shí)實(shí)時(shí)獲取感知壓力數(shù)據(jù)，以實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)控制氣動(dòng)執(zhí)行器以保持卡塊卡持力度，防止晶圓脫落。

發(fā)明內(nèi)容

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所提供的技術(shù)方案是：一種晶圓夾持裝置，它包括晶圓承載板體、定位塊、氣動(dòng)執(zhí)行器、直線導(dǎo)軌、滑塊、壓力傳感器、卡塊、位置傳感器。所述晶圓承載板體安裝固定在機(jī)械手臂的末端手臂內(nèi)，板體上面安裝四個(gè)晶圓定位塊，直接承載晶圓；所述氣動(dòng)執(zhí)行器安裝固定機(jī)械手臂的末端手臂內(nèi)，氣動(dòng)執(zhí)行器底端設(shè)有位置傳感器，氣動(dòng)執(zhí)行器前端上的滑桿連接在滑塊上；所述滑塊安裝在直線導(dǎo)軌上；所述壓力傳感器是高精度微型紐扣式，安裝固定在滑塊上，并通過(guò)線纜連接到控制器；所述卡塊安裝固定在壓力傳感器上；

進(jìn)一步地，氣動(dòng)執(zhí)行器的工作氣體為經(jīng)干燥的壓縮空氣，氣壓不大于1.5Mpa；

進(jìn)一步地，直線導(dǎo)軌應(yīng)使用真空油脂，以防止油脂顆粒揮發(fā)，污染晶圓及晶圓反應(yīng)腔室。

進(jìn)一步地，壓力傳感器使用高精度微型紐扣式；

進(jìn)一步地，當(dāng)機(jī)械手臂傳輸晶圓時(shí)，壓力傳感器通過(guò)數(shù)據(jù)線纜實(shí)時(shí)將壓力數(shù)據(jù)傳輸?shù)娇刂破鳎刂破魍ㄟ^(guò)壓力數(shù)據(jù)與設(shè)定的安全壓力值進(jìn)行對(duì)比，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)，確保卡塊安全卡住晶圓，防止晶圓脫落破碎。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明一種實(shí)施例的示意圖；

圖2是本發(fā)明的夾持機(jī)構(gòu)的示意圖；

1.晶圓承載板體；2.板體前部定位塊；3. 板體后部定位塊；4. 板體固定安裝位；5.機(jī)械手臂末端手臂； 6.氣動(dòng)執(zhí)行器收縮氣管；7.氣動(dòng)執(zhí)行器伸展氣管；8.位置傳感器線纜；9.位置傳感器；10.氣動(dòng)執(zhí)行器；11.壓力傳感器線纜；12.直線導(dǎo)軌；13.滑塊；14.壓力傳感器；15.卡塊。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明，圖1是本發(fā)明一種實(shí)施例的示意圖，圖2是夾持機(jī)構(gòu)的示意圖；

本實(shí)例所述晶圓承載板體1安裝固定在機(jī)械手臂的末端手臂5內(nèi)，板體1上面安裝四個(gè)晶圓定位塊2，直接承載晶圓；所述氣動(dòng)執(zhí)行器10安裝固定機(jī)械手臂的末端手臂5內(nèi)，氣動(dòng)執(zhí)行器10底端設(shè)有位置傳感器8，氣動(dòng)執(zhí)行器10前端上的滑桿連接在滑塊13上；所述滑塊13安裝在直線導(dǎo)軌12上；所述壓力傳感器14是高精度微型紐扣式壓力傳感器，安裝固定在滑塊13上，并通過(guò)線纜11連接到控制器；所述卡塊15安裝固定在壓力傳感器14上；

所述氣動(dòng)執(zhí)行器10的工作氣體為經(jīng)干燥的壓縮空氣，氣壓不大于1.5Mpa，防止壓力過(guò)大擠碎晶圓。

所述直線導(dǎo)軌12應(yīng)使用真空油脂，以防止油脂顆粒揮發(fā)，污染晶圓及晶圓反應(yīng)腔室；