[實用新型]一種晶圓夾持裝置有效

申請號：	201721346405.6	申請日：	2017-10-19
公開（公告）號：	CN207529917U	公開（公告）日：	2018-06-22
發明（設計）人：	王子菲	申請（專利權）人：	上海陛通半導體能源科技股份有限公司
主分類號：	H01L21/687	分類號：	H01L21/687
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	201203 上海市浦東新區中國（上海）自***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	晶圓氣動執行器壓力傳感器安裝固定滑塊卡塊位置傳感器承載板體機械手臂夾持裝置直線導軌控制器種晶手臂本實用新型高速傳輸晶圓定位氣體壓力實時調整線纜連接定位塊板體底端滑桿卡住承載傳輸
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【權利要求書】：

1.一種晶圓夾持裝置，它包括晶圓承載板體、定位塊、氣動執行器、直線導軌、滑塊、壓力傳感器、卡塊、位置傳感器，所述晶圓承載板體安裝固定在機械手臂的末端手臂內，板體上面安裝四個晶圓定位塊，直接承載晶圓；所述氣動執行器安裝固定機械手臂的末端手臂內，氣動執行器底端設有位置傳感器，氣動執行器前端上的滑桿連接在滑塊上；所述滑塊安裝在直線導軌上；所述壓力傳感器是高精度微型紐扣式，安裝固定在滑塊上，并通過線纜連接到控制器；所述卡塊安裝固定在壓力傳感器上。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓夾持裝置，其特征在于：壓力傳感器安裝固定在滑塊上。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓夾持裝置，其特征在于：卡塊是尼龍、碳纖維或橡膠材料。

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