[實用新型]一種可旋轉的PECVD鍍膜裝置有效

申請號：	201721336978.0	申請日：	2017-10-18
公開（公告）號：	CN207405236U	公開（公告）日：	2018-05-25
發明（設計）人：	劉振波;張向陽	申請（專利權）人：	深圳海容高新材料科技有限公司
主分類號：	C23C16/50	分類號：	C23C16/50
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	518000 廣東省深圳市前海深港合作區前***	國省代碼：	廣東;44
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	可旋轉的鍍膜空腔絲桿本實用新型待加工產品陽極電極板陰極電極板鍍膜裝置工件托盤大盤致密可上下移動復合運動納米材料納米涂層前端開口驅動馬達射頻電源一端連接正對設置左右側壁接地可打開密封門自轉鉸接相配小盤升降開口體內
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.一種可旋轉的PECVD鍍膜裝置，其特征在于，所述鍍膜裝置內部設有一矩形鍍膜空腔，鍍膜空腔的前端開口且開口鉸接有一可打開的密封門，鍍膜空腔的左右側壁分別固定安裝有正對設置的陽極電極板和陰極電極板，所述陽極電極板連接射頻電源，所述陰極電極板接地，所述鍍膜空腔上下壁之間設置有絲桿，所述絲桿的一端連接一驅動馬達，所述絲桿上設置有相配的可上下移動的工件托盤，所述工件托盤包括一個可旋轉的大盤和設置于大盤上多個可旋轉的小盤。

2.根據權利要求1所述的可旋轉的PECVD鍍膜裝置，其特征在于，所述工件托盤的數量有多個，呈上下間隔的連接至絲桿。

3.根據權利要求2所述的可旋轉的PECVD鍍膜裝置，其特征在于，所述工件托盤包括底座，所述底座通過一推力軸承支撐起所述的大盤，所述大盤由一大盤電機及傳動齒輪驅動發生旋轉，所述大盤的上表面開設有多個小盤安裝槽，所述多個小盤安裝槽內通過多個推力軸承支撐起多個小盤，每個小盤由一個小盤電機驅動發生旋轉。

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于深圳海容高新材料科技有限公司，未經深圳海容高新材料科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201721336978.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。