[實(shí)用新型]一種可循環(huán)晶片研磨裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721334732.X
• 申請(qǐng)日: 2017-10-17
• 公開（公告）號(hào): CN207309690U
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李直榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 馬鞍山榮泰科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/10
• 分類號(hào): B24B37/10;B24B7/22;B24B57/02;B24B57/00
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技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種晶振片加工裝置，尤其是涉及一種可循環(huán)晶片研磨裝置。

背景技術(shù)

石英晶體是目前世界上用量最大的晶體材料，利用晶體本身具有的物理特性制造出的電子元器件，如石英晶體諧振器、晶體濾波器和石英晶體振蕩器等。因其在頻率端的穩(wěn)定性特征作為頻率基準(zhǔn)或是作為頻率源，在數(shù)字電路、電子產(chǎn)品及通訊設(shè)備領(lǐng)域均得到了廣泛的應(yīng)用。晶片的厚度加工精度要求非常高，一般都是通過研磨來獲得的，晶片在研磨過程中需要時(shí)刻保證有研磨砂來保證晶片的磨削運(yùn)動(dòng)，對(duì)研磨砂的需求量就比較大，通常研磨砂需循環(huán)使用以減少生產(chǎn)成本。但在研磨過程中，隨著磨削運(yùn)動(dòng)的進(jìn)行，晶片外層的保護(hù)玻璃也會(huì)隨之磨削，產(chǎn)生一些玻璃渣，而且研磨砂中有時(shí)也會(huì)有一些較大的顆粒。研磨砂的流量如果過小，就難以將這些異物從研磨機(jī)的砂槽中沖走，這些異物一旦吸附在晶砣表面，就會(huì)在研磨過程中劃傷晶片，使晶片產(chǎn)生劃痕，影響晶片的質(zhì)量。由于晶片是一個(gè)小薄片結(jié)構(gòu)，現(xiàn)有技術(shù)的研磨機(jī)不適用于晶片的研磨。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有產(chǎn)品的不足，而提供一種可循環(huán)晶片研磨裝置。

本實(shí)用新型的一種可循環(huán)晶片研磨裝置，所述裝置包括機(jī)架、升降臂、連接臂、安裝臂、下壓平臺(tái)、研磨臺(tái)，所述機(jī)架的一側(cè)面垂直安裝有升降臂，在升降臂的中間段和連接臂固定連接，連接臂和安裝臂固定連接，安裝臂的上方安裝有手柄，安裝臂的中間設(shè)置有花鍵轉(zhuǎn)軸，花鍵轉(zhuǎn)軸安裝有下壓平臺(tái)，下壓平臺(tái)和研磨臺(tái)接觸配合，研磨臺(tái)安裝在安裝座上，研磨臺(tái)的上表面設(shè)置有磨盤，研磨臺(tái)外側(cè)設(shè)置有凸起的研磨臺(tái)外圈，所述研磨臺(tái)和研磨臺(tái)外圈之間設(shè)置有排水槽，排水槽的底部設(shè)置有排出管道，安裝座安裝在機(jī)架的底部，安裝座中間設(shè)置有主動(dòng)輪，主動(dòng)輪和電機(jī)輸出軸連接，主動(dòng)輪的中間安裝有傳動(dòng)軸，傳動(dòng)軸的上端設(shè)置有花鍵槽，花鍵槽和花鍵套配合連接，花鍵套固定安裝在花鍵轉(zhuǎn)軸的下端；所述研磨臺(tái)外圈的內(nèi)側(cè)設(shè)置有內(nèi)齒輪，傳動(dòng)軸在花鍵槽的下面設(shè)置有外齒輪，下壓平臺(tái)和研磨臺(tái)之間放置有行星輪片，行星輪片上均布放置晶振片的通孔，行星輪片和研磨臺(tái)外圈的內(nèi)齒輪、傳動(dòng)軸外齒輪相互咬合連接；所述下壓平臺(tái)的上方活動(dòng)安裝有研磨液法蘭，研磨液法蘭的圓周壁上均勻分布有研磨液接頭，研磨液接頭和研磨液輸入管道連接，研磨液輸入管道固定在連接臂的下方；所述研磨液輸入管道上設(shè)置有混合閥門，混合閥門和高壓氣管道連接，高壓氣管道和空氣壓縮機(jī)連接，排出管道和儲(chǔ)料桶連接，儲(chǔ)料桶內(nèi)安裝有攪拌葉輪，儲(chǔ)料桶通過循環(huán)管道和過濾桶連接，循環(huán)管道上安裝有循環(huán)泵，過濾桶和研磨液輸入管道連接。

進(jìn)一步，所述過濾桶內(nèi)安裝有濾芯，濾芯上的過濾孔的孔徑不大于10um。

本實(shí)用新型的有益效果是：1、結(jié)構(gòu)合理，易于制造，成本低；2、實(shí)用性強(qiáng)，晶振片放置在行星輪片的通孔內(nèi)，行星輪片和研磨臺(tái)外圈的內(nèi)齒輪、傳動(dòng)軸外齒輪相互咬合，研磨臺(tái)和下壓平臺(tái)工作作用下進(jìn)行研磨，通過行星輪片的厚度控制晶振片的厚度，精度控制準(zhǔn)確。3、研磨液經(jīng)過濾器過濾后可以循環(huán)使用，并且流動(dòng)性好，不會(huì)堵塞砂漿管道，生產(chǎn)效率高，可以降低生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型的主視圖。

圖3為圖2的剖視圖。

圖4為本實(shí)用新型的研磨液過濾循環(huán)示意圖。

圖中：機(jī)架1、升降臂2、連接臂3、安裝臂4、下壓平臺(tái)5、研磨臺(tái)6、研磨臺(tái)外圈7、安裝座8、手柄9、主動(dòng)輪10、傳動(dòng)軸11、花鍵套12、排出管道13、14、儲(chǔ)料桶21、攪拌葉輪22、循環(huán)泵23、循環(huán)管道24、過濾桶25、研磨液輸入管道26、混合閥門27、高壓氣管道28、濾芯29。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。

本實(shí)用新型的一種可循環(huán)晶片研磨裝置主要由機(jī)架1、升降臂2、連接臂3、安裝臂4、下壓平臺(tái)5、研磨臺(tái)6、研磨臺(tái)外圈7、安裝座8、手柄9、主動(dòng)輪10、傳動(dòng)軸11、花鍵套12、排出管道13、14、儲(chǔ)料桶21、攪拌葉輪22、循環(huán)泵23、循環(huán)管道24、過濾桶25、研磨液輸入管道26、混合閥門27、高壓氣管道28、濾芯29組成。