[實用新型]一種可循環晶片研磨裝置

有效

• 申請號: 201721334732.X
• 申請日: 2017-10-17
• 公開（公告）號: CN207309690U
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發明（設計）人: 李直榮
• 申請（專利權）人: 馬鞍山榮泰科技有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B7/22;B24B57/02;B24B57/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種可循環晶片研磨裝置，其特征是，所述裝置包括機架（1）、升降臂（2）、連接臂（3）、安裝臂（4）、下壓平臺（5）、研磨臺（6），所述機架（1）的一側面垂直安裝有升降臂（2），在升降臂（2）的中間段和連接臂（3）固定連接，連接臂（3）和安裝臂（4）固定連接，安裝臂（4）的上方安裝有手柄（9），安裝臂（4）的中間設置有花鍵轉軸，花鍵轉軸安裝有下壓平臺（5），下壓平臺（5）和研磨臺（6）接觸配合，研磨臺（6）安裝在安裝座（8）上，研磨臺（6）的上表面設置有磨盤，研磨臺（6）外側設置有凸起的研磨臺外圈（7），所述研磨臺（6）和研磨臺外圈（7）之間設置有排水槽，排水槽的底部設置有排出管道（13），安裝座（8）安裝在機架（1）的底部，安裝座（8）中間設置有主動輪（10），主動輪（10）和電機輸出軸連接，主動輪（10）的中間安裝有傳動軸（11），傳動軸（11）的上端設置有花鍵槽，花鍵槽和花鍵套（12）配合連接，花鍵套（12）固定安裝在花鍵轉軸的下端；所述研磨臺外圈（7）的內側設置有內齒輪，傳動軸（11）在花鍵槽的下面設置有外齒輪，下壓平臺（5）和研磨臺（6）之間放置有行星輪片，行星輪片上均布放置晶振片的通孔，行星輪片和研磨臺外圈（7）的內齒輪、傳動軸（11）外齒輪相互咬合連接；所述下壓平臺（5）的上方活動安裝有研磨液法蘭，研磨液法蘭的圓周壁上均勻分布有研磨液接頭，研磨液接頭和研磨液輸入管道（26）連接，研磨液輸入管道（26）固定在連接臂（3）的下方；所述研磨液輸入管道（26）上設置有混合閥門（27），混合閥門（27）和高壓氣管道（28）連接，高壓氣管道（28）和空氣壓縮機連接，排出管道（13）和儲料桶（21）連接，儲料桶（21）內安裝有攪拌葉輪（22），儲料桶（21）通過循環管道（24）和過濾桶（25）連接，循環管道（24）上安裝有循環泵（23），過濾桶（25）和研磨液輸入管道（26）連接。

2.根據權利要求1所述的一種可循環晶片研磨裝置，其特征是，所述過濾桶（25）內安裝有濾芯（29），濾芯（29）上的過濾孔的孔徑不大于10um。