[實用新型]真空鍍膜設備

有效

• 申請號: 201721331755.5
• 申請日: 2017-10-16
• 公開（公告）號: CN207243986U
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發明（設計）人: 楊斌
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/54
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司11252
• 代理人: 周放,姜溯洲

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池的制造過程中的溫度測試，尤其涉及一種真空鍍膜設備。

背景技術

在薄膜太陽能電池的制備過程中，溫度是重要的參數之一。薄膜電池的制造設備包括物理氣相沉積PVD、銅銦鎵硒蒸鍍(CIGS設備)都為板式、多腔室工藝設備，在不同腔室、同腔室不同區域都有不同的工藝溫度要求。

現有技術中的加熱器對各區域進行加熱后，加熱器的溫度由傳感器傳至控制進行腔室溫度控制。現有技術中的傳感器通過與加熱器纏繞接觸來實現測量，這種測量方法只能測量加熱器表面的溫度，無法獲取電池基板所處的環境溫度，因此導致溫度測量的不準確。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種真空鍍膜設備，以解決現有技術中的問題，提高電池基板的溫度測試精準性。

本實用新型提供了一種真空鍍膜設備，包括用于鍍膜的工作腔，所述工作腔的頂部設置有開口，所述工作腔的內部用于容置基板，其中，所述真空鍍膜設備還包括：

頂蓋，封堵所述開口；所述頂蓋朝向所述工作腔內部的一側設置有加熱絲；

第一溫度傳感器，設置在所述工作腔的頂部；

第二溫度傳感器，設置在所述工作腔的底部。

如上所述的真空鍍膜設備，其中，優選的是，所述第一溫度傳感器和/或所述第二溫度傳感器為熱電偶。

如上所述的真空鍍膜設備，其中，優選的是，所述頂蓋與所述開口之間通過密封墊密封固定。

如上所述的真空鍍膜設備，其中，優選的是，所述工作腔包括加熱腔、工藝腔和冷卻腔。

如上所述的真空鍍膜設備，其中，優選的是，所述第一溫度傳感器與所述工作腔的底部具有設定的距離。

如上所述的真空鍍膜設備，其中，優選的是，所述第二溫度傳感器的數量是一個或多個。

如上所述的真空鍍膜設備，其中，優選的是，還包括進片腔和出片腔。

如上所述的真空鍍膜設備，其中，優選的是，所述加熱絲焊接在所述頂蓋上。

如上所述的真空鍍膜設備，其中，優選的是，所述第二溫度傳感器焊接在所述工作腔的底部；

或所述第一溫度傳感器纏繞固定在所述加熱絲上。

如上所述的真空鍍膜設備，其中，優選的是，所述工作腔的底部設置有安裝孔，所述第二溫度傳感器通過螺栓固定在所述安裝孔中。

本實用新型提供的真空鍍膜設備通過設置第一溫度傳感器感測加熱絲的溫度，通過設置第二溫度傳感器感測基板的環境溫度。這樣，如果工作腔的環境溫度發生變化，可以通過第一溫度傳感器和第二溫度傳感器的反饋對環境溫度進行修正，從而保證基板所處的溫度恒定，不僅提高了測量溫度的精準性，也提高了工藝質量。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例提供的真空鍍膜設備的工作腔結構示意圖。

附圖標記說明：

1-工作腔2-頂蓋3-密封墊4-基板5-加熱絲6-第一溫度傳感器7-第二溫度傳感器

具體實施方式

下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能解釋為對本實用新型的限制。

圖1為本實用新型實施例提供的真空鍍膜設備的工作腔結構示意圖，本實用新型實施例提供了一種真空鍍膜設備，包括工作腔1，該工作腔1的頂部設置有開口，工作腔1的內部用于容置基板4，基板4由工作腔1的一側進入工作腔，從工作腔1的另一側輸出。本領域技術人員可以理解的是，工作腔1可以包括加熱腔、工藝腔和冷卻腔，均用于完成基板的鍍膜工藝，優選地，該真空鍍膜設備還包括進片腔和出片腔。該真空鍍膜設備還包括頂蓋2、第一溫度傳感器6和第二溫度傳感器7。第一溫度傳感器6和第二溫度傳感器7均可以采用熱電偶，當然，也可以采用其他裝置來實現溫度的采集。