[實用新型]真空鍍膜設備有效
| 申請號： | 201721331755.5 | 申請日： | 2017-10-16 |
| 公開（公告）號： | CN207243986U | 公開（公告）日： | 2018-04-17 |
| 發明（設計）人： | 楊斌 | 申請（專利權）人： | 君泰創新（北京）科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/26 | 分類號： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京維澳專利代理有限公司11252 | 代理人： | 周放,姜溯洲 |
| 地址： | 100176 北京市大興區北京經*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空鍍膜 設備 | ||
1.一種真空鍍膜設備，包括用于鍍膜的工作腔，所述工作腔的頂部設置有開口，所述工作腔的內部用于容置基板，其特征在于，所述真空鍍膜設備還包括：
頂蓋，封堵所述開口；所述頂蓋朝向所述工作腔內部的一側設置有加熱絲；
第一溫度傳感器，設置在所述工作腔的頂部；
第二溫度傳感器，設置在所述工作腔的底部。
2.根據權利要求1所述的真空鍍膜設備，其特征在于，所述第一溫度傳感器和/或所述第二溫度傳感器為熱電偶。
3.根據權利要求1所述的真空鍍膜設備，其特征在于，所述頂蓋與所述開口之間通過密封墊密封固定。
4.根據權利要求1所述的真空鍍膜設備，其特征在于，所述工作腔包括加熱腔、工藝腔和冷卻腔。
5.根據權利要求1所述的真空鍍膜設備，其特征在于，所述第一溫度傳感器與所述工作腔的底部具有設定的距離。
6.根據權利要求1-5任一項所述的真空鍍膜設備，其特征在于，所述第二溫度傳感器的數量是一個或多個。
7.根據權利要求1-5任一項所述的真空鍍膜設備，其特征在于，還包括進片腔和出片腔。
8.根據權利要求1-5任一項所述的真空鍍膜設備，其特征在于，所述加熱絲焊接在所述頂蓋上。
9.根據權利要求1-5任一項所述的真空鍍膜設備，其特征在于，所述第二溫度傳感器焊接在所述工作腔的底部；
或所述第一溫度傳感器纏繞固定在所述加熱絲上。
10.根據權利要求1-5任一項所述的真空鍍膜設備，其特征在于，所述工作腔的底部設置有安裝孔，所述第二溫度傳感器通過螺栓固定在所述安裝孔中。
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