[實用新型]高效擴散石英舟

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721331135.1
• 申請日: 2017-10-16
• 公開（公告）號: CN207199589U
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發(fā)明（設計）人: 徐銳;孫鐵囤;姚偉忠
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務所(普通合伙)32258
• 代理人: 朱麗莎

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池片制備技術領域，尤其涉及一種高效擴散石英舟。

背景技術

太陽能電池作為可再生的環(huán)保能源已經(jīng)越來越受到人們的關注。近幾年，世界太陽能電池的年銷售增長旺盛，與太陽能電池相關的設備也得到了迅猛的發(fā)展。

太陽能電池需要一個大面積的PN結以實現(xiàn)光能到電能的轉換，制造PN結是太陽電池生產最基本也是最關鍵的工序。制造太陽能電池PN結的專用設備是擴散爐，其一般由石英舟的上下載部分、廢氣室、爐體部分和氣柜部分四部分組成。在擴散工序中，需要將承載盒中的硅片取出放置到石英舟內，待擴散完成后，又需要將將石英舟內的硅片放回承載盒中。目前，上述操作一般采用由工作人員手工將硅片裝入和取出石英舟框。這種方式的缺點是顯而易見的，一方面，由于承載盒或石英舟中放置硅片的座槽的間隙很小，在手工夾取、放置硅片時，很容易劃傷硅片或者污染硅片，從而嚴重影響硅片的電特性，另一方面，手工夾取、放置硅片的工作效率低下，從而影響產能。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：為了提高放置硅片的工作效率，本實用新型提供一種高效擴散石英舟。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種高效擴散石英舟，用于放置多塊硅片，所述擴散石英舟包括兩個相互平行的底固定桿、相互平行的左底連接桿和右底連接桿，設定底固定桿的兩端分別為左右方向，所述左底連接桿和右底連接桿分別固定連接在底固定桿的左右兩端，且左底連接桿和右底連接桿均和底固定桿相互垂直且固定連接，左底連接桿、右底連接桿和底固定桿的中心線均在同一平面內，設定該平面為平面一，所述左底連接桿的兩端上分別豎直設置有左前支撐桿和左后支撐桿，右底連接桿的兩端上分別豎直設置有右前支撐桿和右后支撐桿，左前支撐桿和左后支撐桿的上端之間固定設置有左上連接桿，右前支撐桿和右后支撐桿的上端之間固定設置有右上連接桿，左前支撐桿和右前支撐桿之間固定設置有前上連接桿，左上連接桿和右上連接桿之間設置有后上連接桿，所述后上連接桿相對于前上連接桿的距離可調節(jié)設置，所述左前支撐桿和左后支撐桿的中部之間還固定設置有左中連接桿，右前支撐桿和右后支撐桿的中部之間還固定設置有右中連接桿，左中連接桿和右中連接桿之間固定設置有后檔桿，所述后檔桿靠近后上連接桿的下方，后檔桿在平面一上的正投影位于底固定桿的后方。

進一步，具體地，所述左前支撐桿和右前支撐桿的中部之間固定設置有前檔桿。

進一步，具體的調節(jié)結構為，所述左上連接桿和右上連接桿上均設置有通槽，后上連接桿的兩端分別穿出左上連接桿的通槽和右上連接桿的通槽，且后上連接桿的兩端上均安裝有鎖緊螺母。

為了防止后檔桿和前檔桿太近，硅片無法放入，所述通槽內均固定設置有擋塊，左上連接桿通槽內的擋塊和右上連接桿通槽內的擋塊相互左右對稱。

所述后上連接桿和前上連接桿的相對面上均呈相互對稱的鋸齒狀，兩個底固定桿和后檔桿均為表面光滑。

本實用新型的有益效果是，本實用新型的高效擴散石英舟，能夠將硅片先整理成相互貼合在一起，然后進行取放，降低下片的破片率，減少手套與硅片的接觸，防止污染，下片快捷方便，省時，增加產能。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型最優(yōu)實施例的結構示意圖。

圖中：2、底固定桿，31、左底連接桿，32、右底連接桿，41、左前支撐桿，42、左后支撐桿，43、右前支撐桿，44、右后支撐桿，51、左上連接桿，52、右上連接桿，53、前上連接桿，54、后上連接桿，500、通槽，61、左中連接桿，62、右中連接桿，63、后檔桿，64、前檔桿，7、鎖緊螺母，8、擋塊。

具體實施方式

現(xiàn)在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。