[實用新型]高效擴散石英舟

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721331135.1
• 申請日: 2017-10-16
• 公開（公告）號: CN207199589U
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發(fā)明（設計）人: 徐銳;孫鐵囤;姚偉忠
• 申請（專利權(quán)）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務所(普通合伙)32258
• 代理人: 朱麗莎

1.一種高效擴散石英舟，用于放置多塊硅片，其特征在于：所述擴散石英舟包括兩個相互平行的底固定桿(2)、相互平行的左底連接桿(31)和右底連接桿(32)，設定底固定桿(2)的兩端分別為左右方向，所述左底連接桿(31)和右底連接桿(32)分別固定連接在底固定桿(2)的左右兩端，且左底連接桿(31)和右底連接桿(32)均和底固定桿(2)相互垂直且固定連接，左底連接桿(31)、右底連接桿(32)和底固定桿(2)的中心線均在同一平面內(nèi)，設定該平面為平面一，

所述左底連接桿(31)的兩端上分別豎直設置有左前支撐桿(41)和左后支撐桿(42)，右底連接桿(32)的兩端上分別豎直設置有右前支撐桿(43)和右后支撐桿(44)，左前支撐桿(41)和左后支撐桿(42)的上端之間固定設置有左上連接桿(51)，右前支撐桿(43)和右后支撐桿(44)的上端之間固定設置有右上連接桿(52)，左前支撐桿(41)和右前支撐桿(43)之間固定設置有前上連接桿(53)，左上連接桿(51)和右上連接桿(52)之間設置有后上連接桿(54)，所述后上連接桿(54)相對于前上連接桿(53)的距離可調(diào)節(jié)設置，

所述左前支撐桿(41)和左后支撐桿(42)的中部之間還固定設置有左中連接桿(61)，右前支撐桿(43)和右后支撐桿(44)的中部之間還固定設置有右中連接桿(62)，左中連接桿(61)和右中連接桿(62)之間固定設置有后檔桿(63)，所述后檔桿(63)靠近后上連接桿(54)的下方，后檔桿(63)在平面一上的正投影位于底固定桿(2)的后方。

2.如權(quán)利要求1所述的高效擴散石英舟，其特征在于：所述左前支撐桿(41)和右前支撐桿(43)的中部之間固定設置有前檔桿(64)。

3.如權(quán)利要求1所述的高效擴散石英舟，其特征在于：所述左上連接桿(51)和右上連接桿(52)上均設置有通槽(500)，后上連接桿(54)的兩端分別穿出左上連接桿(51)的通槽(500)和右上連接桿(52)的通槽(500)，且后上連接桿(54)的兩端上均安裝有鎖緊螺母(7)。

4.如權(quán)利要求3所述的高效擴散石英舟，其特征在于：所述通槽(500)內(nèi)均固定設置有擋塊(8)，左上連接桿(51)通槽(500)內(nèi)的擋塊(8)和右上連接桿(52)通槽(500)內(nèi)的擋塊(8)相互左右對稱。

5.如權(quán)利要求1所述的高效擴散石英舟，其特征在于：所述后上連接桿(54)和前上連接桿(53)的相對面上均呈相互對稱的鋸齒狀，兩個底固定桿(2)和后檔桿(63)均為表面光滑。