[實(shí)用新型]一種質(zhì)譜儀前級(jí)真空室高壓探針組件有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201721321475.6 | 申請(qǐng)日： | 2017-10-13 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN207217468U | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-04-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 余成鋮;李林;周立 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇天瑞儀器股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J49/02 | 分類號(hào)： | H01J49/02 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 215347 江蘇省蘇州市昆*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 質(zhì)譜儀 真空 高壓 探針 組件 | ||
1.一種質(zhì)譜儀前級(jí)真空室高壓探針組件，其特征在于,包括：高壓探針，用于固定且將所述高壓探針套在內(nèi)部的絕緣耐高壓套管部件，與所述高壓探針聯(lián)結(jié)的電路板，前級(jí)真空室，壓板，以及密封部件；
與所述電路板聯(lián)結(jié)的所述高壓探針套入所述絕緣耐高壓套管部件內(nèi)且插入到所述前級(jí)真空室的腔室內(nèi)，所述壓板通過(guò)緊固件將所述電路板壓緊所述密封部件且與所述前級(jí)真空室進(jìn)行密封，所述密封部件位于所述電路板和所述前級(jí)真空室之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀前級(jí)真空室高壓探針組件，其特征在于，所述套管部件為聚四氟乙烯環(huán)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀前級(jí)真空室高壓探針組件，其特征在于，所述密封部件為密封圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀前級(jí)真空室高壓探針組件，其特征在于，所述緊固件為螺絲或螺栓。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀前級(jí)真空室高壓探針組件，其特征在于，所述電路板為PCB電路板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀前級(jí)真空室高壓探針組件，其特征在于，所述高壓探針通過(guò)錫焊結(jié)構(gòu)與所述套管聯(lián)結(jié)。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于江蘇天瑞儀器股份有限公司，未經(jīng)江蘇天瑞儀器股份有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201721321475.6/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
