[實用新型]一種質譜儀前級真空室高壓探針組件

有效

• 申請號: 201721321475.6
• 申請日: 2017-10-13
• 公開（公告）號: CN207217468U
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發明（設計）人: 余成鋮;李林;周立
• 申請（專利權）人: 江蘇天瑞儀器股份有限公司
• 主分類號: H01J49/02
• 分類號: H01J49/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于質譜儀領域，尤其涉及其中的一種前級真空室高壓探針組件。

背景技術

電感耦合等離子質譜儀要正常工作，前級真空室必須達到真空(2 mbar)狀態，因為等離子要在電場、磁場或電磁場作用下飛行一定的時間和空間，如果在這些時間和空間中存在大量的氣體就會使離子束很快淬滅而達不到檢測器。所以為了減少離子與背景氣體的碰撞淬滅就要進行抽真空使背景氣體分子數量大大減少，以維持足夠的離子平均自由程，而現有的結構為點膠密封，密封效果差，在使用過程中易老化漏氣，導致真空度達不到要求，而且點膠密封方式不易更換、維修，互換性差。

實用新型內容

有鑒于此，需要克服現有技術中的上述缺陷中的至少一個。本實用新型提供了一種質譜儀前級真空室高壓探針組件，包括：高壓探針，用于固定且將所述高壓探針套在內部的絕緣耐高壓套管部件，與所述高壓探針聯結的電路板，前級真空室，壓板，以及密封部件；

與所述電路板聯結的所述高壓探針套入所述絕緣耐高壓套管部件內且插入到所述前級真空室的腔室內，所述壓板通過緊固件將所述電路板壓緊所述密封部件且與所述前級真空室進行密封，所述密封部件位于所述電路板和所述前級真空室之間。

根據本專利背景技術中對現有技術所述，現有的結構為點膠密封，密封效果差，在使用過程中易老化漏氣，導致真空度達不到要求，而且點膠密封方式不易更換、維修，互換性差；而本實用新型公開的質譜儀前級真空室高壓探針組件，采用將高壓探針和電路板等進行固定連接同時使用密封部件保證真空室的氣密性，不僅能夠很好的保證的工作效果，同時更具有良好的互換性。

另外，根據本實用新型公開的用于多準直器的定位結構還具有如下附加技術特征：

進一步地，所述套管部件為聚四氟乙烯環。

進一步地，所述密封部件為密封圈。

整個高壓探針組件的密封是依靠電路板壓塊在螺絲鎖緊時向下壓縮密封圈，通過密封圈的彈性變形進行密封。

進一步地，所述緊固件為螺絲或螺栓。

進一步地，所述電路板為PCB電路板。

進一步地，所述高壓探針通過錫焊結構與所述套管聯結。

高壓探針與電路板用錫焊焊接密封后作為一個整體進行裝配，更換也是焊接后的整體進行更換，從而達到了良好的互換性，同時，也更利于維修和安裝。

本實用新型附加的方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

附圖說明

本實用新型的上述和/或附加的方面和優點從下面結合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是根據本實用新型的實施例示意圖；

圖中，1高壓探針 2.電路板 3.套管部件 4.密封部件 5.壓板 6.前級真空室。

具體實施方式

下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能解釋為對本實用新型的限制。

在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語 “上”、“下”、“底”、“頂”、“前”、“后”、“內”、“外”、“橫”、“豎”、“內側”、“外側”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“聯接”、“連通”、“相連”、“連接”、“配合”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個元件內部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連；“配合”可以是面與面的配合，也可以是點與面或線與面的配合，也包括孔軸的配合，對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。

下面將參照附圖來描述本實用新型的，其中圖1是根據本實用新型的實施例示意圖。

根據本實用新型的實施例，如圖1所示，本實用新型公開的質譜儀前級真空室高壓探針組件，包括：高壓探針1，用于固定且將所述高壓探針1套在內部的絕緣耐高壓套管部件3，與所述高壓探針1聯結的電路板2，前級真空室6，壓板5，以及密封部件4；