[實(shí)用新型]一種含有RFID標(biāo)簽的陶瓷載盤(pán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721317405.3
• 申請(qǐng)日: 2017-10-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207629838U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王永成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海致領(lǐng)半導(dǎo)體科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): B24B41/06
• 分類號(hào): B24B41/06
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• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種含有RFID標(biāo)簽的陶瓷載盤(pán)，其特征在于：所述陶瓷載盤(pán)包括一盤(pán)體，該盤(pán)體包括一工作面和一背面；在所述填充孔內(nèi)置有一RFID標(biāo)簽，所述填充孔的深度大于所述RFID標(biāo)簽的厚度；所述RFID標(biāo)簽通過(guò)填充劑密封于所述填充孔內(nèi)；在所述填充孔的一側(cè)設(shè)有一深色的定位標(biāo)識(shí)。本實(shí)用新型具有如下有益效果:1)可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)作業(yè)同時(shí)可以實(shí)時(shí)追蹤；2)減少了操作人員接觸晶圓從而帶來(lái)污染或損失的機(jī)率；3)陶瓷載盤(pán)內(nèi)置的RFID標(biāo)簽使用壽命長(zhǎng)久，不存在磨損或失效的問(wèn)題；4)可以提高生產(chǎn)的穩(wěn)定性；5)可以提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種陶瓷載盤(pán)，尤其涉及一種含有RFID標(biāo)簽的陶瓷載盤(pán)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體晶圓的拋光過(guò)程中，需要使用貼蠟機(jī)通過(guò)蠟將晶圓固定在陶瓷載盤(pán)的表面，在拋光生產(chǎn)線上進(jìn)行拋光作業(yè)；為了實(shí)現(xiàn)對(duì)單片晶圓的追蹤，傳統(tǒng)的方法是通過(guò)人工記錄陶瓷載盤(pán)上的編號(hào)信息以及晶圓的貼片位置信息，來(lái)追蹤晶圓。但這種追蹤方法有以下缺陷:

1)依靠人工識(shí)別陶瓷盤(pán)編號(hào)增加了晶圓追蹤的不確定性，人工肉眼識(shí)別容易導(dǎo)致信息錯(cuò)漏，從而影響追蹤的準(zhǔn)確性；

2)人工識(shí)別無(wú)法實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線的全自動(dòng)作業(yè)，只有在設(shè)備停止作業(yè)的時(shí)候才能追蹤尋找目標(biāo)晶圓，影響生產(chǎn)效率；

3)人工識(shí)別容易帶來(lái)潛在污染；由于晶圓對(duì)貼蠟和拋光環(huán)境潔凈度要求極高，人工追蹤晶圓將增加人員接觸晶圓的機(jī)率，從而增加了晶圓被污染的機(jī)率；

4)陶瓷載盤(pán)上的標(biāo)識(shí)容易磨損導(dǎo)致難以辨認(rèn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)中的問(wèn)題，提供一種含有RFID標(biāo)簽的陶瓷載盤(pán)。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種含有RFID標(biāo)簽的陶瓷載盤(pán)，其特征在于：所述陶瓷載盤(pán)包括一盤(pán)體，該盤(pán)體包括一工作面和一背面；在所述填充孔內(nèi)置有一RFID標(biāo)簽，所述填充孔的深度大于所述RFID標(biāo)簽的厚度；所述RFID標(biāo)簽通過(guò)填充劑密封于所述填充孔內(nèi)；在所述填充孔的一側(cè)設(shè)有一深色的定位標(biāo)識(shí)。

優(yōu)選地，所述填充孔的孔徑大于所述RFID標(biāo)簽的長(zhǎng)度。

優(yōu)選地，所述填充孔與所述定位標(biāo)識(shí)位于所述背面。

優(yōu)選地，所述定位標(biāo)識(shí)靠近所述盤(pán)體的邊緣設(shè)置。

優(yōu)選地，所述定位標(biāo)識(shí)均位于所述盤(pán)體的側(cè)面。

優(yōu)選地，所述填充劑的表面加工至與所述盤(pán)體表面等高。

本實(shí)用新型具有如下有益效果:

1)可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)作業(yè)同時(shí)可以實(shí)時(shí)追蹤；

2)減少了操作人員接觸晶圓從而帶來(lái)污染或損失的機(jī)率；

3)陶瓷載盤(pán)內(nèi)置的RFID標(biāo)簽使用壽命長(zhǎng)久，不存在磨損或失效的問(wèn)題；

4)可以提高生產(chǎn)的穩(wěn)定性；

5)可以提高生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的主視圖；

圖2為本實(shí)用新型的后視圖；

圖3為本實(shí)用新型的剖視圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、技術(shù)特征、實(shí)用新型目的與技術(shù)效果易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

如圖1至3所示，為本實(shí)用新型的一種含有RFID標(biāo)簽的陶瓷載盤(pán)，其特征在于：所述陶瓷載盤(pán)包括一盤(pán)體100，該盤(pán)體100包括一工作面200和一背面300。