[實用新型]一種柔性卷繞鍍膜真空隔離裝置

有效

• 申請號: 201721317139.4
• 申請日: 2017-10-13
• 公開（公告）號: CN207243994U
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發明（設計）人: 劉月豹;張紅;任丹;楊志彬;關仁鶴
• 申請（專利權）人: 安徽方興光電新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所53113
• 代理人: 張璽

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜領域，具體為一種柔性卷繞鍍膜真空隔離裝置。

背景技術

真空鍍膜技術是利用物理、化學手段將固體表面涂覆一層特殊性能的鍍膜，從而使固體表面具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、導電、導磁、絕緣和裝飾等許多優于固體材料本身的優越性能，達到提高產品質量、延長產品壽命、節約能源和獲得顯著技術經濟效益的作用，在鍍膜的過程中加工腔室為真空腔室，當加工腔室中真空度較低的情況下會影響鍍膜的水平，所以如何保證加工腔室的真空度是鍍膜技術的一大要點。

中國發明專利公開號為CN105543790A提出的一種真空鍍膜機系統及其操作方法其核心技術為一種真空鍍膜機系統及其操作方法，包括抽氣系統、鍍膜電源、控制部分和真空室體，所述鍍膜電源和抽氣系統均與真空室體相連接，控制部分和抽氣系統均與鍍膜電源相連接，且抽氣系統、鍍膜電源和真空室體均受控制部分的控制，其操作方法包括5個步驟，(1)開機預熱；(2)自動抽氣；(3)自動鍍膜；(4)自動放氣；(5)自動關機；方便增加可編輯工藝，可進行全自動運行，進行各項流程的單獨或多項，可調換操作智能操作，智能保護與維護檢測，提高產品質量，節約人工成本，增加工作效率，提供系統報警異常，可及時修復與維護可多種工藝編輯儲存及修改，可單獨操做或自動操作。

其中一種真空鍍膜機系統及其操作方法，可以自動對加工腔室進行自動的抽氣，但是在加工的過程中無法實時的檢測加工腔室的真空度，也實時的調節加工腔室的真空度。本實用新型利用擴散泵將加工腔室抽成真空加工環境，并用氣塞的自重力來密封加工腔室，在加工過程中實時的檢測加工腔室的并自動抽氣保證加工腔室的真空度。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種柔性卷繞鍍膜真空隔離裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種柔性卷繞鍍膜真空隔離裝置，包括：

加工腔室、連接管、抽氣腔室、進出氣管、氣塞、支架和控制模塊，所述加工腔室和抽氣腔室各有兩個進出氣口，所述連接管的一端密封式安裝在加工腔室其一進出氣口上、另一端密封式安裝在抽氣腔室其一進出氣口上，所述進出氣管安裝在抽氣腔室進出氣口上，所述氣塞安裝在進出氣管內部，所述支架固定在抽氣腔室內部。

優選的，所述控制模塊由依次電性連接的氣壓傳感器、信號處理單元、控制電路和擴散泵組成，所述氣壓傳感器密封式安裝在加工腔室其二進出氣口上，所述擴散泵密封式安裝在抽氣腔室其二進出氣口上。

優選的，所述氣塞為不銹鋼圓臺且表面設有密封橡膠，進出氣管為鋼管且內部設有密封橡膠。

優選的，所述支架上設有通氣孔。

優選的，所述信號處理單元為AT89S51單片機。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型利用擴散泵將加工腔室抽成真空加工環境，并用氣塞的自重力來密封加工腔室，簡化了工作過程，在加工過程中實時的檢測加工腔室的并自動抽氣保證加工腔室的真空度，有效的增加鍍膜水平，增加了鍍膜設備的鍍膜精度。

附圖說明

圖1為本實用新型示意圖；

圖2為本實用新型支架立體圖；

圖3為本實用新型進出氣管和氣塞立體圖；

圖4為本實用新型控制模塊結構圖；

圖5為本實用新型控制電路的電路圖。

圖中：1加工腔室、2連接管、3抽氣腔室、4進出氣管、5氣塞、6支架、7控制模塊、71氣壓傳感器、72信號處理單元、73控制電路和74擴散泵。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

實施例：