[實用新型]一種柔性卷繞鍍膜真空隔離裝置

有效

• 申請號: 201721317139.4
• 申請日: 2017-10-13
• 公開（公告）號: CN207243994U
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發明（設計）人: 劉月豹;張紅;任丹;楊志彬;關仁鶴
• 申請（專利權）人: 安徽方興光電新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所53113
• 代理人: 張璽

1.一種柔性卷繞鍍膜真空隔離裝置，其特征在于，包括：

加工腔室(1)、連接管(2)、抽氣腔室(3)、進出氣管(4)、氣塞(5)、支架(6)和控制模塊(7)，所述加工腔室(1)和抽氣腔室(3)各有兩個進出氣口，所述連接管(2)的一端密封式安裝在加工腔室(1)其一進出氣口上、另一端密封式安裝在抽氣腔室(3)其一進出氣口上，所述進出氣管(4)安裝在抽氣腔室(3)進出氣口上，所述氣塞(5)安裝在進出氣管(4)內部，所述支架(6)固定在抽氣腔室(3)內部。

2.根據權利要求1所述的一種柔性卷繞鍍膜真空隔離裝置，其特征在于：所述控制模塊(7)由依次電性連接的氣壓傳感器(71)、信號處理單元(72)、控制電路(73)和擴散泵(74)組成，所述氣壓傳感器(71)密封式安裝在加工腔室(1)其二進出氣口上，所述擴散泵(74)密封式安裝在抽氣腔室(3)其二進出氣口上。

3.根據權利要求1所述的一種柔性卷繞鍍膜真空隔離裝置，其特征在于：所述氣塞(5)為不銹鋼圓臺且表面設有密封橡膠，進出氣管(4)為鋼管且內部設有密封橡膠。

4.根據權利要求1所述的一種柔性卷繞鍍膜真空隔離裝置，其特征在于：所述支架(6)上設有通氣孔。

5.根據權利要求2所述的一種柔性卷繞鍍膜真空隔離裝置，其特征在于：所述信號處理單元(72)為AT89S51單片機。