[實用新型]光阻涂布機有效
| 申請號： | 201721317031.5 | 申請日： | 2017-10-13 |
| 公開（公告）號： | CN207271550U | 公開（公告）日： | 2018-04-27 |
| 發明（設計）人： | 聶行健;陳聰文;汪杰;趙敏 | 申請（專利權）人： | 東旭（昆山）顯示材料有限公司;東旭集團有限公司;東旭科技集團有限公司 |
| 主分類號： | B05C5/02 | 分類號： | B05C5/02;B05C11/10;B05C13/02 |
| 代理公司： | 北京潤平知識產權代理有限公司11283 | 代理人： | 李健,鄺圓暉 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇州市昆山市開*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光阻涂布機 | ||
1.一種光阻涂布機，其特征在于，所述光阻涂布機包括：用于固定放置基板(500)的涂布平臺(100)、設置于所述涂布平臺(100)上的縫隙(101)以及與所述縫隙(101)連通的回收裝置；其中，所述基板(500)的邊緣與所述縫隙(101)對齊或位于所述縫隙(101)內。
2.根據權利要求1所述的光阻涂布機，其特征在于，所述縫隙(101)上下貫穿所述涂布平臺(100)。
3.根據權利要求2所述的光阻涂布機，其特征在于，所述縫隙(101)為環狀。
4.根據權利要求2所述的光阻涂布機，其特征在于，所述縫隙(101)的橫截面為直角梯形，所述直角梯形的直腰與所述基板(500)的側壁共面或平行。
5.根據權利要求2所述的光阻涂布機，其特征在于，所述縫隙(101)的頂部開口大于所述縫隙(101)的底部開口。
6.根據權利要求5所述的光阻涂布機，其特征在于，所述縫隙(101)的頂部開口寬度為40-60mm，所述縫隙(101)的底部開口寬度為10-30mm。
7.根據權利要求1-6中的任意一項所述的光阻涂布機，其特征在于，所述回收裝置包括與所述縫隙(101)連通的用于吸取光阻的真空泵(300)。
8.根據權利要求7所述的光阻涂布機，其特征在于，所述回收裝置包括與所述真空泵(300)的出口連通的光阻儲存單元(400)。
9.根據權利要求1所述的光阻涂布機，其特征在于，所述光阻涂布機包括：設置于所述涂布平臺(100)上方的用于對所述基板(500)的上表面進行光阻涂布的旋轉單元(200)；所述旋轉單元(200)的旋轉范圍覆蓋所述縫隙(101)。
10.根據權利要求1所述的光阻涂布機，其特征在于，所述基板(500)為矩形的玻璃基板，所述縫隙(101)沿所述矩形的玻璃基板的四個邊設置。
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