[實用新型]一種快速熱退火機臺

有效

• 申請號: 201721312561.0
• 申請日: 2017-10-11
• 公開（公告）號: CN207250471U
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發明（設計）人: 石志平;吳宗祐;林宗賢
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙)31219
• 代理人: 余明偉

1.一種快速熱退火機臺，其特征在于，所述快速熱退火機臺包括：

機臺本體；

設于所述機臺本體內的退火腔室；

安裝于所述退火腔室內的燈管底座，所述燈管底座上設有若干電連接插孔組；

安裝于所述燈管底座上的若干燈筒，所述燈筒包括燈筒本體，及設于所述燈筒本體內壁上的定向導軌；及

安裝于所述燈筒內的燈管，所述燈管包括燈管本體，位于所述燈管本體一端、且與所述電連接插孔組進行電連接的電連接插頭組，位于所述燈管本體兩側、且在所述定向導軌上進行定向滑動的定向銷，及位于所述燈管本體另一端的發光件。

2.根據權利要求1所述的快速熱退火機臺，其特征在于，所述燈筒本體為中空圓柱形結構。

3.根據權利要求2所述的快速熱退火機臺，其特征在于，所述燈筒還包括設于所述燈筒本體一端的擋板，其中，所述擋板上設有與所述電連接插孔組位置對應的過孔組。

4.根據權利要求3所述的快速熱退火機臺，其特征在于，所述電連接插頭組貫穿所述過孔組與所述電連接插孔組進行電連接。

5.根據權利要求1所述的快速熱退火機臺，其特征在于，所述定向導軌為凹槽結構。

6.根據權利要求5所述的快速熱退火機臺，其特征在于，所述凹槽結構的寬度為2mm～3mm；所述凹槽結構的深度為2mm～3mm。

7.根據權利要求1所述的快速熱退火機臺，其特征在于，所述定向銷為梯形結構。

8.根據權利要求7所述的快速熱退火機臺，其特征在于，所述梯形結構的高度為2mm～3mm。

9.根據權利要求1所述的快速熱退火機臺，其特征在于，所述定向導軌和所述定向銷的材料均為耐高溫材料，其中，所述耐高溫材料包括陶瓷或鎳基合金。

10.根據權利要求1所述的快速熱退火機臺，其特征在于，所述快速熱退火機臺還包括設于所述發光件表面的聚光罩。

11.根據權利要求1所述的快速熱退火機臺，其特征在于，所述快速熱退火機臺還包括設于所述燈管底座上、且將所述燈筒及燈管罩于其內的防脫落罩體。

12.根據權利要求1所述的快速熱退火機臺，其特征在于，所述快速熱退火機臺還包括設于所述機臺本體內的冷卻裝置。