[實(shí)用新型]一種帶磁性電極器的柔性覆銅板卷繞鍍膜系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721311879.7
• 申請(qǐng)日: 2017-10-11
• 公開（公告）號(hào): CN207418855U
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱剛勁;朱剛毅;黃慶梅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 肇慶兆達(dá)光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56;C23C14/35;C23C14/20
• 代理公司: 廣州市華學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44245
• 代理人: 官國(guó)鵬

1.一種帶磁性電極器的柔性覆銅板卷繞鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：包括真空室和均設(shè)置在真空室內(nèi)的第一隔板、第一電極器、多個(gè)第一磁控靶、基材、用于控制基材運(yùn)行的路徑控制機(jī)構(gòu)；路徑控制機(jī)構(gòu)包括沿著基材運(yùn)行路徑依次設(shè)置的放卷輥、第一檢測(cè)輥、第一導(dǎo)輥、第一水冷鼓、第二導(dǎo)輥、第二檢測(cè)輥、收卷輥；多個(gè)第一磁控靶以第一水冷鼓的軸線為中心線沿著圓周方向布置，帶磁性的第一電極器設(shè)置在相鄰的兩個(gè)第一磁控靶之間，第一水冷鼓的兩側(cè)均設(shè)置一塊第一隔板；放卷輥、第一檢測(cè)輥、第一導(dǎo)輥、第二導(dǎo)輥、第二檢測(cè)輥、收卷輥均位于第一隔板的上方，第一電極器、第一磁控靶均位于第一隔板的下方。

2.按照權(quán)利要求1所述的一種帶磁性電極器的柔性覆銅板卷繞鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：第一磁控靶的數(shù)量有兩個(gè)，兩個(gè)第一磁控靶對(duì)稱設(shè)置在真空室內(nèi)；第一電極器的數(shù)量為一個(gè)，第一電極器位于第一水冷鼓的正下方。

3.按照權(quán)利要求2所述的一種帶磁性電極器的柔性覆銅板卷繞鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：第一電極器內(nèi)設(shè)有磁鐵，磁鐵傾斜式地布置。

4.按照權(quán)利要求1所述的一種帶磁性電極器的柔性覆銅板卷繞鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：第一磁控靶為平面磁控靶或圓柱磁控靶。

5.按照權(quán)利要求1所述的一種帶磁性電極器的柔性覆銅板卷繞鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：放卷輥和收卷輥對(duì)稱設(shè)置在真空室內(nèi)，第一導(dǎo)輥和第二導(dǎo)輥對(duì)稱設(shè)置在真空室內(nèi)，第一檢測(cè)輥和第二檢測(cè)輥對(duì)稱設(shè)置在真空室內(nèi)。

6.按照權(quán)利要求1所述的一種帶磁性電極器的柔性覆銅板卷繞鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：所述的基材為聚酰亞胺薄膜或金屬卷材。

7.按照權(quán)利要求1所述的一種帶磁性電極器的柔性覆銅板卷繞鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：真空室呈圓形或方形。

8.一種帶磁性電極器的柔性覆銅板卷繞鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：包括真空室和均設(shè)置在真空室內(nèi)的隔板機(jī)構(gòu)、第一電極器、第二電極器、多個(gè)第一磁控靶、多個(gè)第二磁控靶、基材、用于控制基材運(yùn)行的路徑控制機(jī)構(gòu)；路徑控制機(jī)構(gòu)包括沿著基材運(yùn)行路徑依次設(shè)置的放卷輥、第一檢測(cè)輥、第一導(dǎo)輥、第一水冷鼓、第二導(dǎo)輥、第三導(dǎo)輥、第二水冷鼓、第四導(dǎo)輥、第二檢測(cè)輥、收卷輥；

至少兩個(gè)以上的第一磁控靶以第一水冷鼓的軸線為中心線沿著圓周方向布置，至少兩個(gè)以上的第二磁控靶以第二水冷鼓的軸線為中心線沿著圓周方向布置，帶磁性的第一電極器設(shè)置在相鄰的兩個(gè)第一磁控靶之間，帶磁性的第二電極器設(shè)置在相鄰的兩個(gè)第二磁控靶之間；

隔板機(jī)構(gòu)包括第一隔板、第二隔板、第三隔板、第四隔板；第一隔板和第二隔板水平布置，第三隔板和第四隔板豎直布置，第一水冷鼓的兩側(cè)均設(shè)置一塊第一隔板，第二水冷鼓的兩側(cè)均設(shè)置一塊第二隔板，第一水冷鼓位于第三隔板的一側(cè)，第二水冷鼓位于第三隔板的另一側(cè)；放卷輥、第一檢測(cè)輥、第一導(dǎo)輥、第二導(dǎo)輥均位于第一隔板的上方，第三導(dǎo)輥、第四導(dǎo)輥均位于第二隔板的下方，第一電極器、第一磁控靶均位于第一隔板的下方，第二電極器、第二磁控靶均位于第二隔板的上方，第三隔板設(shè)有用于基材穿過的缺口，一塊第二隔板安裝在第三隔板上，另一塊第二隔板安裝在第四隔板的下端。

9.按照權(quán)利要求8所述的一種帶磁性電極器的柔性覆銅板卷繞鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：第三隔板包括第三上隔板和第三下隔板，第三上隔板和第三下隔板形成一個(gè)用于基材穿過的缺口，一塊第一隔板安裝在第三下隔板上，一塊第二隔板安裝在第三上隔板上。