[實用新型]一種碳化硅芯片的合格率檢測設備

有效

• 申請號: 201721307876.6
• 申請日: 2017-10-11
• 公開（公告）號: CN207396436U
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: 陳力穎
• 申請（專利權）人: 天津力芯偉業科技有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00;G01R31/28;G01R31/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種碳化硅芯片的合格率檢測設備，包括底座(2)、芯片掃描檢測設備(4)、檢測安裝板(9)、放料傳送帶(13)和芯片卡槽(18)，其特征在于：所述底座(2)的頂部安裝有伺服電機(3)，且伺服電機(3)的頂部通過聯軸器安裝有主動輪(14)，所述服電機(3)一側的底座(2)上通過支撐柱(16)安裝有從動輪(15)，且主動輪(14)與從動輪(15)上安裝有放料傳送帶(13)，所述放料傳送帶(13)的上均勻分布有芯片卡槽(18)，所述放料傳送帶(13)下方的底座(2)上通過電動升降柱(1)安裝有透明支撐板(12)，且透明支撐板(12)緊貼放料傳送帶(13)的下表面，所述伺服電機(3)與支撐柱(16)之間的底座(2)上安裝有芯片掃描檢測設備(4)，且芯片掃描檢測設備(4)的頂部安裝有檢測板(6)，所述芯片掃描檢測設備(4)一側的底座(2)上安裝有電動伸縮柱(11)，且電動伸縮柱(11)的頂部安裝有檢測安裝板(9)，所述檢測安裝板(9)的頂部安裝有探針固定板(7)，所述探針固定板(7)的內部安裝有FM1702SL高頻讀寫板(8)，且FM1702SL高頻讀寫板(8)的輸出端均勻安裝有貫穿探針固定板(7)的檢測探針(10)。

2.根據權利要求1所述的一種碳化硅芯片的合格率檢測設備，其特征在于：所述檢測板(6)上表面的中央位置處安裝有紅外線定位燈。

3.根據權利要求1所述的一種碳化硅芯片的合格率檢測設備，其特征在于：所述芯片掃描檢測設備(4)的正面安裝有檢測指標顯示器(5)。

4.根據權利要求1所述的一種碳化硅芯片的合格率檢測設備，其特征在于：所述透明支撐板(12)上均勻分布有與芯片卡槽(18)配合使用的支撐凸起(17)。

5.根據權利要求1所述的一種碳化硅芯片的合格率檢測設備，其特征在于：所述主動輪(14)與從動輪(15)位于同一水平面，且主動輪(14)與從動輪(15)的直徑相同。