[實用新型]石英舟倒片機的石英舟定位機構

有效

• 申請號: 201721300992.5
• 申請日: 2017-09-30
• 公開（公告）號: CN207458896U
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發明（設計）人: 李潤飛;李世杰;王沖普;李永哲;賈世濤;侯穎;張路法;王瑞賢;王宗江;池策;范爽
• 申請（專利權）人: 河北晶龍陽光設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 石家莊德皓專利代理事務所(普通合伙) 13129
• 代理人: 楊瑞龍

1.一種石英舟倒片機的石英舟定位機構，其特征在于：其包括呈窗框型的底板（1），所述底板（1）中部為矩形的窗孔，底板（1）的兩側固定設置有第一側支座（3）和第二側支座（8），第一側支座（3）和第二側支座（8）之間形成使石英舟（100）定位的工位，且所述第一側支座（3）和第二側支座（8）的內側固定設置有用于使石英舟定位的定位塊（14），所述第一側支座（3）上設置有凹槽，定位氣缸（5）固定設置在底板（1）上，定位氣缸（5）的推桿置于所述凹槽內，其端部固定設置有石英舟壓塊（6）；所述第二側支座（8）的中部設置有用于檢測石英舟正反向的第一傳感器（9）和用于檢測所述工位內有無石英舟的第二傳感器（10），所述底板（1）的兩側設置有兩組以上的導向塊（4），每組導向塊包括對稱設置的兩個導向塊，所述導向塊（4）上設置有斜面（11），所述窗孔的兩側設置有緩沖墊（13）。

2.根據權利要求1所述的一種石英舟倒片機的石英舟定位機構，其特征在于：所述導向塊（4）一共為兩組，分別位于臨近所述第一側支座（3）和第二側支座（8）的內側。

3.根據權利要求1所述的一種石英舟倒片機的石英舟定位機構，其特征在于：所述導向塊（4）上設置有固定螺孔（7），螺釘通過所述固定螺孔（7）將所述導向塊（4）固定在所述底板（1）上。

4.根據權利要求1所述的一種石英舟倒片機的石英舟定位機構，其特征在于：所述第一側支座（3）外側的底板（1）上固定設置有氣缸安裝座（12），所述定位氣缸（5）固定安裝在所述氣缸安裝座（12）。