[實用新型]一種金工件平行度光學法測試系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721297171.0
• 申請日: 2017-10-09
• 公開（公告）號: CN207472216U
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發(fā)明（設計）人: 馮建東
• 申請（專利權）人: 茂萊(南京)儀器有限公司
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 李倩

本實用新型公開了一種金工件平行度光學法測試系統(tǒng)，包括底座，底座上設有工作光學臺板，底座側邊與垂直支架底端固定連接，垂直支架與水平支架通過調(diào)平支撐塊連接，水平支架上固定連接有物鏡鏡筒，物鏡鏡筒上端與光學鏡筒固定連接且內(nèi)部相互連通，光學鏡筒上端與成像鏡筒連接且內(nèi)部相互連通；物鏡鏡筒下端設有與鏡筒同軸的消色差準直物鏡；光學鏡筒內(nèi)部安裝有分光片，分光片與鏡筒軸向成45度夾角，光學鏡筒側壁上嵌有光源模塊，光源模塊的出射光方向與所述光學鏡筒軸向垂直；成像鏡筒和光學鏡筒的連接處設有十字標尺，成像鏡筒內(nèi)部設有成像物鏡，成像鏡筒頂端設有CCD成像裝置；光學鏡筒側壁上還設有與光源模塊相對應的照明棱鏡。

技術領域

本實用新型涉及一種金工件平行度光學法測試系統(tǒng)，屬于光學儀器技術領域。

背景技術

傳統(tǒng)的金工件平面度測試方法由來已久，使用的方法已非常成熟。

其中，打表法的方法是將工件基準面放在平板上，用千分表測被測表面，讀出最大與最小數(shù)值之差即為平行度誤差，應將所測數(shù)據(jù)換算到工件實際長度上；將工件放到平板上，將基準面找平，分別測出基準面與被測面的直線度后獲得平行度誤差。打表法的精度受限于千分表本身的精度及設備搭建過程中設備的精度，比如平板的平面度，基準面平面度等，系統(tǒng)誤差較高。優(yōu)點是整個面進行計算，找到偏差最大的點即是所需測試所需的平行度。

另外，三坐標法的測試同樣也受限于儀器的精度，但是能自動生成報告，且測量時間較短，有很多優(yōu)點。但是三坐標法的測試缺點就是在測試過程中是取三點而不是整個面進行計算，有很大的隨機誤差。

實用新型內(nèi)容

實用新型目的：本實用新型所要解決的技術問題是提供一種金工件平行度光學法測試系統(tǒng)，該測試系統(tǒng)排除了金工件表面因為粗糙度引起的測試誤差，提高了測試效率。

為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案為：

一種金工件平行度光學法測試系統(tǒng)，包括底座，所述底座上設有工作光學臺板，所述底座側邊與垂直支架底端固定連接，所述垂直支架與水平支架通過調(diào)平支撐塊連接，所述水平支架上固定連接有物鏡鏡筒，所述物鏡鏡筒上端與光學鏡筒固定連接且內(nèi)部相互連通，所述光學鏡筒上端與成像鏡筒連接且內(nèi)部相互連通；所述物鏡鏡筒下端設有與鏡筒同軸的消色差準直物鏡；所述光學鏡筒內(nèi)部安裝有分光片，所述分光片與鏡筒軸向成45度夾角，所述光學鏡筒側壁上嵌有光源模塊，所述光源模塊的出射光方向與所述光學鏡筒軸向垂直；所述成像鏡筒和所述光學鏡筒的連接處設有十字標尺，所述成像鏡筒內(nèi)部設有成像物鏡，所述成像鏡筒頂端設有CCD成像裝置；所述光學鏡筒側壁上還設有與光源模塊相對應的照明棱鏡。

進一步的，所述光源模塊包括LED光源和十字分劃板，所述LED光源發(fā)出的光通過所述十字分劃板后所呈的像經(jīng)過所述分光片反射后穿過所述消色差準直物鏡，之后再由工作光學臺板上的被測件上的光學平板反射后再次穿過所述消色差準直物鏡，穿過所述分光片后照射到所述十字標尺上，最終所述十字分劃板所呈的像同所述十字標尺所呈的像一同經(jīng)過成像物鏡成像在CCD成像裝置上。

進一步的，所述十字標尺位于所述消色差準直物鏡的焦點位置，所述十字分劃板與所述十字標尺相對于所述消色差準直物鏡共焦。

進一步的，所述分光片為50/50分光片。

進一步的，所述垂直支架側邊固定有水平軸，所述水平軸伸入所述調(diào)平支撐塊與所述調(diào)平支撐塊轉動連接。

進一步的，所述水平支架通過轉軸與所述調(diào)平支撐塊鉸鏈，所述轉軸兩側分別對稱設有調(diào)節(jié)螺釘，所述調(diào)節(jié)螺釘分別穿過所述水平支架并伸入所述調(diào)平支撐塊中。

相比于現(xiàn)有技術，本實用新型技術方案具有的有益效果為：