[實用新型]一種金工件平行度光學法測試系統

有效

• 申請號: 201721297171.0
• 申請日: 2017-10-09
• 公開（公告）號: CN207472216U
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 馮建東
• 申請（專利權）人: 茂萊(南京)儀器有限公司
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 李倩

1.一種金工件平行度光學法測試系統，其特征在于：包括底座，所述底座上設有工作光學臺板，所述底座側邊與垂直支架底端固定連接，所述垂直支架與水平支架通過調平支撐塊連接，所述水平支架上固定連接有物鏡鏡筒，所述物鏡鏡筒上端與光學鏡筒固定連接且內部相互連通，所述光學鏡筒上端與成像鏡筒連接且內部相互連通；所述物鏡鏡筒下端設有與鏡筒同軸的消色差準直物鏡；所述光學鏡筒內部安裝有分光片，所述分光片與鏡筒軸向成45度夾角，所述光學鏡筒側壁上嵌有光源模塊，所述光源模塊的出射光方向與所述光學鏡筒軸向垂直；所述成像鏡筒和所述光學鏡筒的連接處設有十字標尺，所述成像鏡筒內部設有成像物鏡，所述成像鏡筒頂端設有CCD成像裝置；所述光學鏡筒側壁上還設有與光源模塊相對應的照明棱鏡。

2.根據權利要求1所述的金工件平行度光學法測試系統，其特征在于：所述光源模塊包括LED光源和十字分劃板，所述LED光源發出的光通過所述十字分劃板后所呈的像經過所述分光片反射后穿過消色差準直物鏡，再由工作光學臺板上被測件上的光學平板反射后再次穿過所述消色差準直物鏡，穿過分光片后照射到十字標尺上，最終十字分劃板所呈的像同十字標尺所呈的像一同經過成像物鏡成像在CCD成像裝置上。

3.根據權利要求1所述的金工件平行度光學法測試系統，其特征在于：所述十字標尺位于所述消色差準直物鏡的焦點位置，所述十字分劃板與所述十字標尺相對于所述消色差準直物鏡共焦。

4.根據權利要求1所述的金工件平行度光學法測試系統，其特征在于：所述分光片為50/50分光片。

5.根據權利要求1所述的金工件平行度光學法測試系統，其特征在于：所述垂直支架側邊固定有水平軸，所述水平軸伸入所述調平支撐塊與所述調平支撐塊轉動連接。

6.根據權利要求1所述的金工件平行度光學法測試系統，其特征在于：所述水平支架通過轉軸與所述調平支撐塊鉸鏈，所述轉軸兩側分別對稱設有調節螺釘，所述調節螺釘分別穿過所述水平支架并伸入所述調平支撐塊中。