[實用新型]一種改善氧化硅均勻性的晶舟

有效

• 申請號: 201721252693.9
• 申請日: 2017-09-27
• 公開（公告）號: CN207367941U
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發明（設計）人: 朱華君;張召;王智
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種改善氧化硅均勻性的晶舟，其特征在于：包括環形舟(1)和梯形舟(2)，所述環形舟(1)和梯形舟(2)均為所述晶舟的水平支撐環；所述晶舟由下到上依次設置至少一個梯形舟(2)和至少一個環形舟(1)；所述梯形舟(2)包括內徑略小于裝載的晶圓的半徑的梯形舟水平支撐環(21)；所述環形舟(1)包括環形舟水平支撐環(11)和設置于所述環形舟水平支撐環(11)上表面的石英環形支撐件(12)。

2.根據權利要求1所述的改善氧化硅均勻性的晶舟，其特征在于：所述石英環形支撐件(12)包括依次連接的底部支撐件(121)、支撐柱(122)和硅片支撐件(123)；所述底部支撐件(121)、支撐柱(122)和硅片支撐件(123)均為環形。

3.根據權利要求2所述的改善氧化硅均勻性的晶舟，其特征在于：所述環形舟水平支撐環(11)、底部支撐件(121)、支撐柱(122)和硅片支撐件(123)的內徑依次變小。

4.根據權利要求3所述的改善氧化硅均勻性的晶舟，其特征在于：將晶舟的長度三等分，設置為下部晶舟(3)、中部晶舟(4)和上部晶舟(5)。

5.根據權利要求4所述的改善氧化硅均勻性的晶舟，其特征在于：所述下部晶舟(3)的水平支撐環均為梯形舟(2)。

6.根據權利要求4所述的改善氧化硅均勻性的晶舟，其特征在于：所述中部晶舟(4)和上部晶舟(5)的水平支撐環均為環形舟(1)。

7.根據權利要求5所述的改善氧化硅均勻性的晶舟，其特征在于：所述下部晶舟(3)設置兩個梯形舟(2)。

8.根據權利要求6所述的改善氧化硅均勻性的晶舟，其特征在于：所述中部晶舟(4)設置兩個環形舟(1)。

9.根據權利要求6所述的改善氧化硅均勻性的晶舟，其特征在于：所述上部晶舟(5)設置兩個環形舟(1)。