[實用新型]用于半導體芯片測試的微調支架

有效

• 申請號: 201721250822.0
• 申請日: 2017-09-27
• 公開（公告）號: CN207472910U
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 王浩;王剛;程堯;張偉
• 申請（專利權）人: 上海旻艾半導體有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 南京申云知識產權代理事務所(普通合伙) 32274
• 代理人: 邱興天

本實用新型公開一種用于半導體芯片測試的微調支架，包括機臺固定座、安裝在機臺固定座上的通用固定底座和設置在通用固定底座上可左右移動的L形的支架底座；所述的通用固定底座上安裝有一微分頭固定塊，而所述的支架底座的水平板上則設置有與微分頭固定塊配合使用的橫向微分頭，所述的橫向微分頭的橫向測微螺桿抵住微分頭固定塊。本實用新型的微調支架結構合理，原理操作清楚簡單；操作非常的方便，節省工作時間，提高工作效率。

技術領域

本實用新型屬于半導體檢測設備，具體涉及一種用于半導體芯片測試的微調支架。

背景技術

現有的半導體測試裝置測試時是通過測試機將芯片壓入PCB測試板上的 SOCKET板的凹槽內,使芯片上的觸點與SOCKET板的針腳相連，SOCKET板上的針腳與PCB測試板的觸點相連，此時形成通路，然后在PCB測試板上輸入一定電壓查看輸出的情況，不同的電壓會產生不同的通路進而有不同的輸出，輸出與需要的參數相符合即為良品。

測試機通過吸嘴吸住芯片，將其放入SOCKET板的凹槽中，測試機只能將芯片放在特定位置，因此我們需要改變SOCKET板的位置來保證芯片能順利放入 SOCKET板中。SOCKET板又與PCB測試板是螺絲固定，相對靜止，PCB測試板又與測試支架是螺絲固定，相對靜止，所以我們只需要手動調節支架，改變支架頂部的位置就能保證芯片能夠準確的壓入SOCKET板內。

圖1為現有的測試支架結構圖，它可以實現上下和左右調節的功能，將左右調節裝置固定在頂部支撐上，然后通過轉動螺絲來實現頂部支撐的左右移動，例如當想要頂部支撐向右移動時，先將左右調節裝置的左邊螺絲擰松，再將右邊的螺絲擰緊，即可實現頂部支撐的向右移動。上下調節同理。這種調節方式存在一個較大的缺點，我們通過螺絲調節并不能準確知道旋轉一個角度究竟是移動了多少距離，然而在測試中調節范圍往往只需要在-1mm到+1mm之間，而微調的時候調節距離會更小，M3螺絲的螺距是為0.5mm，所以在微調時螺絲所需轉動的角度都不到一圈，因此現有的裝置，并不能實現半導體測試時精確微調的功能。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術存在的不足，提供一種能夠實現左右方向和上下方向的半導體芯片微調測試裝置。

技術方案：本實用新型解決問題所采用的技術方案為：一種用于半導體芯片測試的微調支架，包括機臺固定座、安裝在機臺固定座上的通用固定底座和設置在通用固定底座上可左右移動的L形的支架底座；所述的通用固定底座上安裝有一微分頭固定塊，而所述的支架底座的水平板上則設置有與微分頭固定塊配合使用的橫向微分頭，所述的橫向微分頭的橫向測微螺桿抵住微分頭固定塊。

所述的支架底座的豎直板上還安裝有一可上下移動并可通過螺絲固定位置的縱向安裝座；該縱向安裝座的上端安裝有頂部支撐板，頂部支撐板上安裝有PCB 測試板；所述的縱向安裝座上還安裝有縱向微分頭安裝座，該縱向微分頭安裝座安裝有一縱向微分頭，該縱向微分頭的縱向測微螺桿向下豎直伸出，并抵在支架底座的水平板上。

作為優選，所述的微分頭固定塊上還設置有一通孔；所述的支架底座的水平板的側壁上還設置有與通孔位置相適配的螺紋孔；還包括一螺紋桿，該螺紋桿的一端安裝有梅花旋鈕，另一端穿過通孔可相匹配的旋入至螺紋孔中。

作為優選，為了方便縱向安裝的的復位，所述的支架底座的豎直板上還設置有彈簧槽；該彈簧槽內還安裝有復位彈簧，且該復位彈簧的另一端安裝在縱向安裝座上。

作為優選，所述的支架底座的水平板上還設置有與支架底座左右移動方向相同的腰形限位槽；而所述的通用固定底座上設置有與腰形限位槽配合使用的限位桿；