[實用新型]一種旋轉靶的布氣裝置有效
| 申請號： | 201721242030.9 | 申請日： | 2017-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN207581916U | 公開（公告）日： | 2018-07-06 |
| 發明（設計）人： | 宋光耀;葉平 | 申請（專利權）人： | 深圳市鼎力真空科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市光*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 出氣管 管頭 本實用新型 布氣裝置 磁控濺射 進氣管 旋轉靶 真空鍍膜技術 反應氣體 膜層顏色 真空鍍膜 出氣 出氣口 出氣量 分氣管 套管 直管 分管 | ||
1.一種旋轉靶的布氣裝置，包括進氣管(10)、第一分管頭(20)、兩個同步出氣管結構(30)，其特征在于，所述第一分管頭(20)為T形，進氣管(10)連接第一分管頭(20)，第一分管頭(20)另兩頭分別連接著同步出氣管結構(30)，所述同步出氣管結構(30)設有直管(31)、第二分管頭(32)、兩個分氣管(33)、出氣管(34)、套管(35)；所述分氣管(33)為L形，直管(31)連接第二分管頭(32)，第二分管頭(32)的另兩頭分別連接分氣管(33)的一端，兩分氣管(33)的另一端穿過套管(35)的通孔(351)，插入出氣管(34)的側孔(341)里，出氣管(34)的兩端設有塞頭(342)，且出氣管(34)的兩側各有一排出氣孔(343)，出氣管(34)在套管(35)里，套管(35)的一側設有一排終出氣孔(352)，套管(35)的兩端設有套管塞頭(353)。
2.根據權利要求1所述.一種旋轉靶的布氣裝置，其特征在于，所述每個終出氣孔(352)對應每個出氣孔(343)。
3.根據權利要求2所述.一種旋轉靶的布氣裝置，其特征在于，所述每個終出氣孔(352)到出氣管(34)的距離相等。
4.根據權利要求1所述.一種旋轉靶的布氣裝置，其特征在于，所述在分氣管(33)的另一端穿過套管(35)的通孔(351)處設有第一采取焊接處(331)，采取焊接密封。
5.根據權利要求1所述.一種旋轉靶的布氣裝置，其特征在于，所述兩分氣管(33)的另一端插入出氣管(34)的側孔(341)處設有第二焊接處(332)，采取焊接密封。
6.根據權利要求1所述.一種旋轉靶的布氣裝置，其特征在于，所述第二分管頭(32)與兩分氣管(33)連接形成U形。
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