[實(shí)用新型]硅片清洗架

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721241832.8
• 申請(qǐng)日: 2017-09-26
• 公開（公告）號(hào): CN207250475U
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王會(huì)敏;張浩強(qiáng);李立偉;張穩(wěn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 邢臺(tái)晶龍電子材料有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 石家莊國(guó)為知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所13120
• 代理人: 米文智

1.一種硅片清洗架，其特征在于：包括能夠放置到超聲波清洗池內(nèi)的清洗筐，所述清洗筐內(nèi)設(shè)若干個(gè)硅片放置區(qū)，所述硅片放置區(qū)上下為敞口狀，相鄰硅片放置區(qū)間設(shè)有支撐臺(tái)，用于盛放硅片的清洗籃兩側(cè)凸檐能夠放置在支撐臺(tái)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗架，其特征在于：所述硅片放置區(qū)并列設(shè)置在清洗筐的內(nèi)部空間內(nèi)，所述支撐臺(tái)為若干個(gè)、且設(shè)置在硅片放置區(qū)兩側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗架，其特征在于：所述清洗筐為矩形框架式結(jié)構(gòu)，所述清洗筐的四邊均包括上邊框和下邊框，所述上邊框與下邊框的對(duì)應(yīng)四角部位通過(guò)立柱固定相連，所述支撐臺(tái)的左右兩端與清洗筐的左右兩側(cè)上邊框固定相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片清洗架，其特征在于：所述清洗筐底部對(duì)應(yīng)的下邊框間水平設(shè)有交叉相連的橫向加強(qiáng)筋和縱向加強(qiáng)筋，所述橫向加強(qiáng)筋和縱向加強(qiáng)筋端部分別與四周下邊框焊接固定，所述支撐臺(tái)對(duì)應(yīng)設(shè)置在橫向加強(qiáng)筋上方。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片清洗架，其特征在于：所述支撐臺(tái)包括水平上托架和下支撐桿，所述上托架為中部鏤空的長(zhǎng)方形，所述上托架為兩個(gè)以上、且沿橫向加強(qiáng)筋長(zhǎng)度方向間隔設(shè)置，所述清洗筐的左右兩側(cè)上邊框通過(guò)上連接桿與上托架短邊相連；所述下支撐桿上端與上托架的短邊相連、下端與橫向加強(qiáng)筋固定相連；相鄰上托架間距離小于清洗籃寬度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片清洗架，其特征在于：所述清洗筐的前后兩側(cè)上邊框內(nèi)側(cè)設(shè)有端部托架，所述端部托架為中部鏤空的長(zhǎng)方形，所述端部托架短邊寬度為上托架短邊的一半。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片清洗架，其特征在于：所述清洗筐的左右兩側(cè)上邊框與下邊框之間設(shè)有垂直加強(qiáng)筋。

8.根據(jù)權(quán)利要求3-7任一項(xiàng)所述的硅片清洗架，其特征在于：所述清洗筐的前后兩側(cè)外部均設(shè)有兩個(gè)以上的把手。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅片清洗架，其特征在于：所述把手固定在安裝板上，所述安裝板兩側(cè)焊接固定在立桿上，所述立桿上下兩端分別與上邊框、下邊框焊接固定。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅片清洗架，其特征在于：所述把手下方設(shè)有肋板，所述肋板兩端與立柱固定相連。