[實(shí)用新型]一種硅片上料裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721238695.2
• 申請(qǐng)日: 2017-09-26
• 公開（公告）號(hào): CN207398104U
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董文一;魏文博;王浩;徐長(zhǎng)坡;陳澄;梁效峰;楊玉聰;甄輝;齊風(fēng);李亞哲;黃志煥;王曉捧;王宏宇;王鵬;徐艷超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津環(huán)鑫科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

本實(shí)用新型提供一種硅片上料裝置，包括滿花籃上料線、花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和空花籃流出線，花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)于滿花籃上料線下游一端，花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括傳輸機(jī)構(gòu)、水平設(shè)置的轉(zhuǎn)動(dòng)軸和翻轉(zhuǎn)電機(jī)，傳輸機(jī)構(gòu)與轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接，翻轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸與轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接，花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)翻轉(zhuǎn)后的位置位于空花籃流出線的上游端。該裝置無需通過人工轉(zhuǎn)移承載花籃將硅片由上一工藝轉(zhuǎn)移至下一工藝，自動(dòng)流水線工作，自動(dòng)化程度高，省時(shí)省力，生產(chǎn)效率高，并且運(yùn)行穩(wěn)定，硅片傳送過程穩(wěn)定。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅片上料裝置。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體硅片產(chǎn)能日趨擴(kuò)大。而在硅片生產(chǎn)時(shí)，會(huì)涉及到多種作業(yè)流程，包括擴(kuò)散、玻鈍和切割等工藝，而各工藝過程中均需要將硅片從上一加工設(shè)備運(yùn)送至下一加工設(shè)備上，通常是將多個(gè)硅片放入花籃中，一般硅片均為豎直插入花籃，但在加工設(shè)備上需要將硅片平放，由吸盤通過抽真空將硅片吸起進(jìn)行加工、轉(zhuǎn)運(yùn)。

現(xiàn)有技術(shù)中常通過人工轉(zhuǎn)移承載花籃將硅片由上一工藝轉(zhuǎn)移至下一工藝，自動(dòng)化程度低，生產(chǎn)效率低。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的問題是提供一種硅片上料裝置，自動(dòng)化程度高，無需人工手動(dòng)轉(zhuǎn)運(yùn)，可由上道工序轉(zhuǎn)移至下道工藝設(shè)備供下道工藝設(shè)備直接操作。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種硅片上料裝置，包括滿花籃上料線、花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和空花籃流出線，花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)于滿花籃上料線下游一端，花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括傳輸機(jī)構(gòu)、水平設(shè)置的轉(zhuǎn)動(dòng)軸和翻轉(zhuǎn)電機(jī)，傳輸機(jī)構(gòu)與轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接，翻轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸與轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接，花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)翻轉(zhuǎn)后的位置位于空花籃流出線的上游端。

技術(shù)方案中，優(yōu)選的，傳輸機(jī)構(gòu)包括第一傳送帶和設(shè)于第一傳送帶上方的第一花籃卡緊裝置。

技術(shù)方案中，優(yōu)選的，滿花籃上料線包括第二傳送帶和設(shè)于第二傳送帶上方的第二花籃卡緊裝置。

技術(shù)方案中，優(yōu)選的，空花籃流出線包括第三傳送帶和設(shè)于第三傳送帶上方的第三花籃卡緊裝置。

本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是：該硅片上料裝置無需通過人工轉(zhuǎn)移承載花籃將硅片由上一工藝轉(zhuǎn)移至下一工藝，自動(dòng)流水線工作，自動(dòng)化程度高，省時(shí)省力，生產(chǎn)效率高，并且運(yùn)行穩(wěn)定，硅片傳送過程穩(wěn)定。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的硅片上料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：

1、滿花籃上料線 2、花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 3、空花籃流出線

11、傳輸支架 12、傳送帶 13、花籃卡緊裝置

21、傳輸機(jī)構(gòu) 22、轉(zhuǎn)動(dòng)軸 23、翻轉(zhuǎn)電機(jī)

31、傳輸支架 32、傳送帶 33、花籃卡緊裝置

211、傳輸支架 212、傳送帶 213、花籃卡緊裝置

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例做進(jìn)一步描述：