[實用新型]一種硅片上料裝置

有效

• 申請號: 201721238695.2
• 申請日: 2017-09-26
• 公開（公告）號: CN207398104U
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: 董文一;魏文博;王浩;徐長坡;陳澄;梁效峰;楊玉聰;甄輝;齊風;李亞哲;黃志煥;王曉捧;王宏宇;王鵬;徐艷超
• 申請（專利權）人: 天津環鑫科技發展有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種硅片上料裝置，其特征在于：包括滿花籃上料線、花籃翻轉機構和空花籃流出線，所述花籃翻轉機構設于所述滿花籃上料線下游一端，所述花籃翻轉機構包括傳輸機構、水平設置的轉動軸和翻轉電機，所述傳輸機構與所述轉動軸固定連接，所述翻轉電機的輸出軸與所述轉動軸連接，所述花籃翻轉機構翻轉后的位置位于所述空花籃流出線的上游端。

2.根據權利要求1所述的硅片上料裝置，其特征在于：所述傳輸機構包括第一傳送帶和設于所述第一傳送帶上方的第一花籃卡緊裝置。

3.根據權利要求1或2所述的硅片上料裝置，其特征在于：所述滿花籃上料線包括第二傳送帶和設于所述第二傳送帶上方的第二花籃卡緊裝置。

4.根據權利要求1或2所述的硅片上料裝置，其特征在于：所述空花籃流出線包括第三傳送帶和設于所述第三傳送帶上方的第三花籃卡緊裝置。