[實(shí)用新型]一種專用于半導(dǎo)體晶圓運(yùn)送的推車

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721238328.2
• 申請日: 2017-09-26
• 公開（公告）號: CN207637764U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱軍;龔勝利;屈軍亮
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥新匯成微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
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• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型公開了一種專用于半導(dǎo)體晶圓運(yùn)送的推車，包括牽引車和拖車，且在牽引車的上表面設(shè)有多個(gè)固定槽，所述牽引車的左側(cè)面設(shè)有拉手，同時(shí)在牽引車的右側(cè)面設(shè)有卡槽，且在卡槽上設(shè)有對穿的圓孔，所述拖車的左側(cè)面設(shè)有卡舌，且所述卡舌伸進(jìn)插槽內(nèi)，并通過插銷將牽引車和拖車連接在一起，另外在拖車的下方設(shè)有定向輪，且在定向輪的上方設(shè)有固定板，同時(shí)在固定板和定向輪之間連接有彈簧，由于在牽引車和拖車上均設(shè)有固定槽，從而使得半導(dǎo)體晶圓可以固定，另外牽引車和拖車通過插銷固定從而使得牽引車可以一次性帶動(dòng)多個(gè)拖車，從而實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體晶圓的運(yùn)送，當(dāng)卸下拖車時(shí)，牽引車也可以推著走，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了一車多用的功能，進(jìn)而值得推廣。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體晶圓的運(yùn)輸領(lǐng)域，具體為一種專用于半導(dǎo)體晶圓運(yùn)送的推車。

背景技術(shù)

目前，半導(dǎo)體制造廠內(nèi)，半導(dǎo)體晶圓無論在那一道生產(chǎn)環(huán)節(jié)均需要運(yùn)送，但是半導(dǎo)體晶圓屬于精密儀器領(lǐng)域，在運(yùn)輸過程中尤為小心，一不注意就有可能造成半導(dǎo)體晶圓破損，另外在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)時(shí)無論成品還是代加工品，均需要不斷地將原料和成品運(yùn)走，然而市場上的手推車多采用液壓頂推車，該產(chǎn)品運(yùn)送物品時(shí)需要托盤，由于托盤較大放置半導(dǎo)體晶圓時(shí)容易倒塌，同時(shí)這類推車由于沒有減震系統(tǒng)，走到哪都是顛顛晃晃的，容易出現(xiàn)半導(dǎo)體晶圓運(yùn)送途中發(fā)生破損現(xiàn)象，另外這類手推車每次只能運(yùn)輸一種產(chǎn)品，往往出現(xiàn)顧此失彼的問題，尤其是在流水線生產(chǎn)中，不同種類的原料需要較多的手推車配合才能滿足不同產(chǎn)品的運(yùn)送，從而增加生產(chǎn)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容

一種專用于半導(dǎo)體晶圓運(yùn)送的推車，包括牽引車和拖車，所述牽引車的左側(cè)面設(shè)有拉手，在牽引車的右側(cè)面設(shè)有卡槽，且在牽引車的下底面設(shè)有四個(gè)萬向輪，所述牽引車的上表面設(shè)有多個(gè)固定槽；所述拖車的左側(cè)面設(shè)有卡舌，同時(shí)卡舌和卡槽上均設(shè)有圓孔，所述卡舌伸進(jìn)卡槽的內(nèi)部，且在卡槽和卡舌的連接處設(shè)有插銷，所述拖車的下底面設(shè)有四個(gè)連接板，且在連接板的下方設(shè)有兩個(gè)螺釘，所述連接板通過螺釘固定在拖車的下表面上；

所述牽引車和拖車的上方均設(shè)有防護(hù)棚，且所述防護(hù)棚的左右兩個(gè)側(cè)面上對稱設(shè)置有拉環(huán)，所述牽引車和拖車上表面的四個(gè)拐角處設(shè)有固定孔。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案：所述拖車的下底面活動(dòng)連接有四個(gè)定向輪。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案：所述定向輪的上方設(shè)有彈力板，且在彈力板上設(shè)有彈簧固定槽。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案：所述彈簧固定槽上安裝有彈簧，且所述彈簧的另一端固定在連接板上。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案：所述定向輪軸銷處設(shè)有自鎖拉桿。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案：所述牽引車與所述拖車為活動(dòng)連接，且通過插銷將二者連接。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案：所述拖車的右側(cè)面設(shè)有連接槽，且所述連接槽與所述卡槽的結(jié)構(gòu)相同。

采用上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果如下：1.由于設(shè)置牽引車配合配合拖車，具有半導(dǎo)體晶圓的運(yùn)輸功能，從而解決了半導(dǎo)體晶圓的運(yùn)輸問題；

2.由于牽引車和拖車為活動(dòng)連接，從而使得牽引車可以一次帶動(dòng)多個(gè)拖車，同時(shí)每個(gè)拖車可以裝載不一樣的原材料，進(jìn)而解決了不同原材料需要多次運(yùn)送的問題；

3.由于拖車可以根據(jù)實(shí)際需要，進(jìn)行定制生產(chǎn)，從而可以滿足各類半導(dǎo)體晶圓同時(shí)運(yùn)送，進(jìn)而解決了不同晶圓需要不同的設(shè)備進(jìn)行運(yùn)送的問題；

4.由于定向輪上設(shè)有彈力板且在彈力板上連接有彈簧，具有很好地減震效果，從而解決了半導(dǎo)體晶圓運(yùn)輸中顛顛晃晃的問題；

5.由于設(shè)置防倒棚，防倒棚具有穩(wěn)定半導(dǎo)體晶圓在運(yùn)輸中倒塌的作用，從而解決了半導(dǎo)體晶圓倒塌帶來經(jīng)濟(jì)損失的問題；