[實用新型]一種專用于半導體晶圓運送的推車

有效

• 申請號: 201721238328.2
• 申請日: 2017-09-26
• 公開（公告）號: CN207637764U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 朱軍;龔勝利;屈軍亮
• 申請（專利權）人: 合肥新匯成微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種專用于半導體晶圓運送的推車，包括牽引車(3)和拖車(5)，其特征在于：所述牽引車(3)的左側面設有拉手(1)，在牽引車(3)的右側面設有卡槽(6)，且在牽引車(3)的下底面設有四個萬向輪(8)，所述牽引車(3)的上表面設有多個固定槽(2)；所述拖車(5)的左側面設有卡舌(9)，同時卡舌(9)和卡槽(6)上均設有圓孔(7)，所述卡舌(9)伸進卡槽(6)的內部，且在卡槽(6)和卡舌(9)的連接處設有插銷(4)，所述拖車(5)的下底面設有四個連接板(18)，且在連接板(18)的下方設有兩個螺釘(17)，所述連接板(18)通過螺釘(17)固定在拖車(5)的下表面上；

所述牽引車(3)和拖車(5)的上方均設有防護棚(13)，且所述防護棚(13)的左右兩個側面上對稱設置有拉環(14)，所述牽引車(3)和拖車(5)上表面的四個拐角處設有固定孔(12)。

2.根據權利要求1所述的一種專用于半導體晶圓運送的推車，其特征在于：所述拖車(5)的下底面活動連接有四個定向輪(11)。

3.根據權利要求2所述的一種專用于半導體晶圓運送的推車，其特征在于：所述定向輪(11)的上方設有彈力板(16)，且在彈力板(16)上設有彈簧固定槽(20)。

4.根據權利要求3所述的一種專用于半導體晶圓運送的 推車，其特征在于：所述彈簧固定槽(20)上安裝有彈簧(19)，且所述彈簧(19)的另一端固定在連接板(18)上。

5.根據權利要求2所述的一種專用于半導體晶圓運送的推車，其特征在于：所述定向輪(11)軸銷處設有自鎖拉桿(15)。

6.根據權利要求1所述的一種專用于半導體晶圓運送的推車，其特征在于：所述牽引車(3)與所述拖車(5)為活動連接，且通過插銷(4)將二者連接。

7.根據權利要求1所述的一種專用于半導體晶圓運送的推車，其特征在于：所述拖車(5)的右側面設有連接槽(10)，且所述連接槽(10)與所述卡槽(6)的結構相同。