[實用新型]一種硅片生產用爐體自動上下料機構

有效

• 申請號: 201721238194.4
• 申請日: 2017-09-26
• 公開（公告）號: CN207395484U
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: ?；垆h;徐長坡;陳澄;梁效峰;楊玉聰;甄輝;齊風;李亞哲;黃志煥;王曉捧;王宏宇;王鵬;徐艷超
• 申請（專利權）人: 天津環鑫科技發展有限公司
• 主分類號: F27D3/00
• 分類號: F27D3/00;C30B33/02
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

本實用新型提供一種硅片生產用爐體自動上下料機構，包括爐體本體，爐體本體連接設備框架，設備框架上依次設置上料機構、下料機構，上料機構與水平面設置小于10°的傾角，設備框架上設置機械手，用于抓取移載硅片，上料機構、下料機構和機械手均通過控制系統控制，本實用新型的有益效果是采用機械自動化設備替代現有的人工取片，利用設備自動化減少人工作業量及作業強度，作業員可同時兼顧其他設備進行作業，降低了人員數量及人員成本，消除人工作業失誤造成的破片率高的損失，亦可避免手動作業造成的硅片污染。

技術領域

本實用新型屬于硅片生產自動化設備技術領域，尤其是涉及一種硅片生產用爐體自動上下料機構。

背景技術

隨著半導體行業的發展，半導體硅片的加工產能需求日趨增加，需要一種硅片生產用爐體設備的自動上下料系統代替手動插舟作業及手動取片作業。目前，硅片在退火爐、燒成爐等工序加工時，需要作業員將硅片從上一工序所用裝載裝置中取出，并按照固定節距(一般為4.76mm或者2.38mm)放置在石英舟中，既所謂的手動插舟作業。

手動取片作業是指由作業員將在爐體中加工好的硅片從石英舟中取出放入裝載裝置中。作業員將插滿硅片的石英舟放置在爐體設備的槳上，槳會帶著插滿硅片的石英舟推入爐管中，而后進行爐管升溫作業。在滿足工藝溫度和工藝時間等條件后，由槳進入爐管內將插滿硅片的石英舟取出，經一定時間的冷卻降溫(爐體不同，降溫方式不同)，由作業員將插滿硅片的石英舟從槳上取下，手動將硅片從舟中取出放置在下一工序使用的裝載裝置中。整個上下料的過程完全手動操作，存在以下問題：

1.手動插舟取片，破片率高；

2.手動插舟取片，作業員的手會接觸硅片會產生污染；

3.手動插舟作業，有部分爐管已升溫到500℃之上，存在安全隱患。

發明內容

本實用新型的目的是要解決背景技術中由于手動插舟作業產生的問題，提供一種硅片生產用爐體自動上下料機構，利用自動化設備代替人工插舟及取片動作，完成硅片自動在退火爐、燒成爐等爐體設備的上下料動作。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是：一種硅片生產用爐體自動上下料機構，包括爐體本體，所述爐體本體連接設備框架，所述設備框架上依次設置上料機構、下料機構，所述上料機構與水平面設置小于10°的傾角，所述設備框架上設置機械手，用于抓取移載硅片，所述上料機構、所述下料機構和所述機械手均通過控制系統控制。

進一步地，所述上料機構包括上料工位，上料傳動裝置和上料定位裝置，其中，所述上料工位用于存放上料裝載裝置，所述上料傳動裝置包括上料氣缸和上料托板，所述上料氣缸帶動所述上料托板傳動，所述上料定位裝置包括擋塊一，所述上料定位裝置設置在所述上料機構末端，用于對所述上料裝載裝置定位。

進一步地，所述下料機構包括下料工位，下料傳動裝置和下料定位裝置，其中，所述下料工位用于存放下料裝載裝置，所述下料傳動裝置包括下料氣缸和下料托板，所述下料氣缸帶動所述下料托板傳動，所述下料定位裝置包括擋塊二，所述下料定位裝置設置在所述下料機構始端，用于對所述下料裝載裝置定位。

進一步地，所述機械手連接真空裝置，所述機械手臂上設置吸盤。

進一步地，還包括設置在所述下料機構后的盛載裝置，所述盛載裝置包括槽棒、第一吊裝板和第二吊裝板，所述第一吊裝板和所述第二吊裝板分別設置在所述槽棒的兩側，所述槽棒上設置片槽，所述片槽結構為下部具有固定槽的V形槽，所述固定槽的張開角度小于所述V形槽的張開角度，所述第一吊裝板和所述第二吊裝板的外表面均設置一對凸塊，每個所述凸塊上設置均吊鉤狀吊裝口。

進一步地，所述設備框架上還設置槳和絲杠傳動機構，所述絲杠傳動機構設置在靠近所述爐體本體的爐口端，所述槳的一端固定安裝在所述絲杠傳動機構上，所述槳的另一端上放置所述盛載裝置。