[實(shí)用新型]一種硅片生產(chǎn)用爐體自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721238194.4
• 申請(qǐng)日: 2017-09-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207395484U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 牛慧鋒;徐長(zhǎng)坡;陳澄;梁效峰;楊玉聰;甄輝;齊風(fēng);李亞哲;黃志煥;王曉捧;王宏宇;王鵬;徐艷超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津環(huán)鑫科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): F27D3/00
• 分類號(hào): F27D3/00;C30B33/02
• 代理公司: 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種硅片生產(chǎn)用爐體自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)，包括爐體本體，其特征在于：所述爐體本體連接設(shè)備框架，所述設(shè)備框架上依次設(shè)置上料機(jī)構(gòu)、下料機(jī)構(gòu)，所述上料機(jī)構(gòu)與水平面設(shè)置小于10°的傾角，所述設(shè)備框架上設(shè)置機(jī)械手，用于抓取移載硅片，所述上料機(jī)構(gòu)、所述下料機(jī)構(gòu)和所述機(jī)械手均通過(guò)控制系統(tǒng)控制。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片生產(chǎn)用爐體自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述上料機(jī)構(gòu)包括上料工位，上料傳動(dòng)裝置和上料定位裝置，其中，所述上料工位用于存放上料裝載裝置，所述上料傳動(dòng)裝置包括上料氣缸和上料托板，所述上料氣缸帶動(dòng)所述上料托板傳動(dòng)，所述上料定位裝置包括擋塊一，所述上料定位裝置設(shè)置在所述上料機(jī)構(gòu)末端，用于對(duì)所述上料裝載裝置定位。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片生產(chǎn)用爐體自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述下料機(jī)構(gòu)包括下料工位，下料傳動(dòng)裝置和下料定位裝置，其中，所述下料工位用于存放下料裝載裝置，所述下料傳動(dòng)裝置包括下料氣缸和下料托板，所述下料氣缸帶動(dòng)所述下料托板傳動(dòng)，所述下料定位裝置包括擋塊二，所述下料定位裝置設(shè)置在所述下料機(jī)構(gòu)始端，用于對(duì)所述下料裝載裝置定位。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的一種硅片生產(chǎn)用爐體自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述機(jī)械手連接真空裝置，所述機(jī)械手臂上設(shè)置吸盤。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅片生產(chǎn)用爐體自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)，其特征在于：還包括設(shè)置在所述下料機(jī)構(gòu)后的盛載裝置，所述盛載裝置包括槽棒、第一吊裝板和第二吊裝板，所述第一吊裝板和所述第二吊裝板分別設(shè)置在所述槽棒的兩側(cè)，所述槽棒上設(shè)置片槽，所述片槽結(jié)構(gòu)為下部具有固定槽的V形槽，所述固定槽的張開(kāi)角度小于所述V形槽的張開(kāi)角度，所述第一吊裝板和所述第二吊裝板的外表面均設(shè)置一對(duì)凸塊，每個(gè)所述凸塊上設(shè)置均吊鉤狀吊裝口。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種硅片生產(chǎn)用爐體自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述設(shè)備框架上還設(shè)置槳和絲杠傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述絲杠傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在靠近所述爐體本體的爐口端，所述槳的一端固定安裝在所述絲杠傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上，所述槳的另一端上放置所述盛載裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種硅片生產(chǎn)用爐體自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述片槽與豎直面呈小于10°的夾角，所述夾角與所述傾角的角度相同。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種硅片生產(chǎn)用爐體自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述上料機(jī)構(gòu)與水平成3°的傾角，所述片槽與豎直面呈3°的夾角。

9.根據(jù)權(quán)利要求5-8任一所述的一種硅片生產(chǎn)用爐體自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述固定槽的底部為平面，所述固定槽為U形、矩形或梯形結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅片生產(chǎn)用爐體自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述機(jī)械手吸盤厚度為2mm-5mm。