[實(shí)用新型]抑制極電源及離子注入機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721235944.2
• 申請(qǐng)日: 2017-09-25
• 公開（公告）號(hào): CN207166369U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 奚志有;李東平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉林華微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H02M7/02
• 分類號(hào): H02M7/02;H02M7/06;H02M1/14;H02M7/00;H02M1/32;H05K7/20;H01J37/317
• 代理公司: 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11371
• 代理人: 郭新娟

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種抑制極電源及離子注入機(jī)。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體領(lǐng)域的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體元器件越來越精密，其中離子注入機(jī)是半導(dǎo)體領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備。半導(dǎo)體元器件離子注入過程中，抑制極電源在注入機(jī)的終端法拉第線性加速器中起著抑制二次電子和隔離高能量連鎖的作用，對(duì)電源電壓質(zhì)量要求較高，如果抑制極電源質(zhì)量不好，直接影響注入機(jī)故障頻率和生產(chǎn)效率。由于350D/CF3000/300XP/CF5型注入機(jī)生產(chǎn)年代較早，抑制極電源在設(shè)計(jì)上采用一體油浸變壓包，使在長(zhǎng)時(shí)間工作后，易造成變壓包體鼓包漏油，內(nèi)部損毀，導(dǎo)致設(shè)備異常停機(jī)，而設(shè)備工程師不能獨(dú)自完成維修，需要專業(yè)廠家維修，維修成本高，周期長(zhǎng)，嚴(yán)重影響注入機(jī)生產(chǎn)效率。

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中作為抑制極電源的一體油浸變壓包存在的容易損壞的問題，目前尚未提出有效解決方案。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種抑制極電源及離子注入機(jī)，散熱性能好且運(yùn)行安全可靠。

第一方面，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種抑制極電源，應(yīng)用于離子注入機(jī)，包括：電源箱體和電源電路；電源電路固定設(shè)置于電源箱體內(nèi)；

電源電路包括交流升壓變壓器、整流電路、濾波電路、保護(hù)電路和聯(lián)鎖電路；

交流升壓變壓器的輸入側(cè)與交流電源連接；交流升壓變壓器的輸出側(cè)與整流電路、濾波電路依次連接；濾波電路的輸出端輸出直流高壓；

保護(hù)電路包括接地的保護(hù)電阻；輸出端與保護(hù)電阻連接；

聯(lián)鎖電路與輸出端連接，包括固態(tài)繼電器，固態(tài)繼電器聯(lián)鎖控制至少一個(gè)其他高壓電源。

結(jié)合第一方面，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了第一方面的第一種可能的實(shí)施方式，其中，電源箱體包括箱體盒和底部的底板，電源電路固定設(shè)置于箱體盒內(nèi)壁板上。

結(jié)合第一方面的第一種可能的實(shí)施方式，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了第一方面的第二種可能的實(shí)施方式，其中，交流升壓變壓器是干式變壓器，干式變壓器固定于箱體盒的上端；

在箱體盒側(cè)壁板上均勻分布多個(gè)孔位，多個(gè)功率電阻通過絕緣柱分別固定在孔位內(nèi)；

固態(tài)繼電器和濾波電路的濾波電容固定于箱體盒內(nèi)頂壁。

結(jié)合第一方面的第一種可能的實(shí)施方式，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了第一方面的第三種可能的實(shí)施方式，其中，電源箱體下端的壁板上安裝有插頭，插頭用于與離子注入機(jī)的電源控制裝置連接。

結(jié)合第一方面的第一種可能的實(shí)施方式，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了第一方面的第四種可能的實(shí)施方式，其中，電源箱體左右任一側(cè)的壁板設(shè)置有輸出孔，高壓輸出線由輸出孔穿出用于向離子注入機(jī)供電。

結(jié)合第一方面，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了第一方面的第五種可能的實(shí)施方式，電源電路還包括指示電路；指示電路與交流升壓變壓器的輸入側(cè)，用于指示抑制極電源的工作狀態(tài)。

結(jié)合第一方面的第五種可能的實(shí)施方式，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了第一方面的第六種可能的實(shí)施方式，其中，指示電路包括電源指示燈。

結(jié)合第一方面，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了第一方面的第七種可能的實(shí)施方式，電源電路還包括熔斷器；熔斷器設(shè)置于交流升壓變壓器的輸入側(cè)與交流電源之間。

結(jié)合第一方面的第一種可能的實(shí)施方式，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了第一方面的第八種可能的實(shí)施方式，其中，底板為絕緣材料制成。

第二方面，本實(shí)用新型實(shí)施例還提供一種離子注入機(jī)，包括第一方面及其各可能實(shí)施方式之一提供的抑制極電源，還包括離子源、質(zhì)量分析器、加速器、透鏡和靶室；抑制極電源與加速器連接。

本實(shí)用新型實(shí)施例帶來了以下有益效果：

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的抑制極電源及離子注入機(jī)，電源電路包括交流升壓變壓器、整流電路、濾波電路、保護(hù)電路和聯(lián)鎖電路；保護(hù)電路包括接地的保護(hù)電阻；輸出端與保護(hù)電阻連接；聯(lián)鎖電路與輸出端連接，包括固態(tài)繼電器，固態(tài)繼電器聯(lián)鎖控制至少一個(gè)其他高壓電源；可以提供平滑穩(wěn)定可靠電壓，具有體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊，發(fā)熱量小的特點(diǎn)，工作時(shí)不用單獨(dú)降溫系統(tǒng)，自然降溫即可，維護(hù)簡(jiǎn)單且使用安全。

本實(shí)用新型的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實(shí)施本實(shí)用新型而了解。本實(shí)用新型的目的和其他優(yōu)點(diǎn)在說明書、權(quán)利要求書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)和獲得。

為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說明如下。

附圖說明