[實用新型]抑制極電源及離子注入機

有效

• 申請號: 201721235944.2
• 申請日: 2017-09-25
• 公開（公告）號: CN207166369U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 奚志有;李東平
• 申請（專利權）人: 吉林華微電子股份有限公司
• 主分類號: H02M7/02
• 分類號: H02M7/02;H02M7/06;H02M1/14;H02M7/00;H02M1/32;H05K7/20;H01J37/317
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 郭新娟

1.一種抑制極電源，其特征在于，應用于離子注入機，包括：電源箱體和電源電路；所述電源電路固定設置于所述電源箱體內；

所述電源電路包括交流升壓變壓器、整流電路、濾波電路、保護電路和聯鎖電路；

所述交流升壓變壓器的輸入側與交流電源連接；所述交流升壓變壓器的輸出側與整流電路、濾波電路依次連接；所述濾波電路的輸出端輸出直流高壓；

所述保護電路包括接地的保護電阻；所述輸出端與所述保護電阻連接；

所述聯鎖電路與所述輸出端連接，包括固態繼電器，所述固態繼電器聯鎖控制至少一個其他高壓電源。

2.根據權利要求1所述的抑制極電源，其特征在于，所述電源箱體包括箱體盒和底板，所述電源電路固定設置于所述箱體盒內壁板上。

3.根據權利要求2所述的抑制極電源，其特征在于，所述交流升壓變壓器是干式變壓器，所述干式變壓器固定于所述箱體盒的上端；

在所述箱體盒側壁板上均勻分布多個孔位，多個功率電阻通過絕緣柱分別固定在所述孔位內；

所述固態繼電器和所述濾波電路的濾波電容固定于所述箱體盒內頂壁。

4.根據權利要求2所述的抑制極電源，其特征在于，所述電源箱體下端的所述壁板上安裝有插頭，所述插頭用于與所述離子注入機的電源控制裝置連接。

5.根據權利要求2所述的抑制極電源，其特征在于，所述電源箱體左右任一側的所述壁板設置有輸出孔，高壓輸出線由所述輸出孔穿出用于向所述離子注入機供電。

6.根據權利要求1所述的抑制極電源，其特征在于，所述電源電路還包括指示電路；所述指示電路與所述交流升壓變壓器的輸入側，用于指示所述抑制極電源的工作狀態。

7.根據權利要求6所述的抑制極電源，其特征在于，所述指示電路包括電源指示燈。

8.根據權利要求1所述的抑制極電源，其特征在于，所述電源電路還包括熔斷器；所述熔斷器設置于所述交流升壓變壓器的輸入側與所述交流電源之間。

9.根據權利要求2所述的抑制極電源，其特征在于，所述底板為絕緣材料制成。

10.一種離子注入機，其特征在于，包括權利要求1-9任一項所述的抑制極電源，還包括離子源、質量分析器、加速器、透鏡和靶室；所述抑制極電源與所述加速器連接。