[實用新型]一種晶片清洗用定位夾具

有效

• 申請號: 201721234852.2
• 申請日: 2017-09-25
• 公開（公告）號: CN207463774U
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 饒橋兵;鐘耀輝;余浩
• 申請（專利權）人: 藍思科技（長沙）有限公司
• 主分類號: B08B11/02
• 分類號: B08B11/02
• 代理公司: 長沙七源專利代理事務所(普通合伙) 43214
• 代理人: 歐穎;吳婷

1.一種晶片清洗用定位夾具，其特征在于，包括在下的底板(1)與疊設在底板上的蓋板(2)，所述底板上設置有若干與晶片輪廓匹配的通孔型腔一(11)，通孔型腔一內側壁凸設有用于支撐晶片邊緣位置而防止晶片從通孔型腔一掉出夾具的凸緣(12)，所述蓋板上對應底板上每一個通孔型腔一的位置設置有通孔二(21)，通孔二的尺寸小于晶片(4)的尺寸或通孔二的內側壁中設置阻擋件使得晶片不會從通孔二掉出夾具，所述晶片清洗用定位夾具還包括底座(3)，所述底板疊設在底座上，蓋板疊設在底板上，所述底座對應底板上每一個通孔型腔一的位置凸設有頂塊(31)，所述頂塊的尺寸設置為能向上伸入通孔型腔一內由凸緣圍成的空間內并上伸至頂塊頂面與凸緣頂面齊平時能對藍寶石晶片中間區域起支撐作用。

2.根據權利要求1所述的一種晶片清洗用定位夾具，其特征在于，所述底板與蓋板之間設置有便于兩者快速對位疊合的定位銷(6)與定位孔(7)，定位銷與定位孔的軸線方向沿底板與蓋板的疊合方向設置。

3.根據權利要求1所述的一種晶片清洗用定位夾具，其特征在于，所述底板與蓋板之間分散設置有若干抵在底板與蓋板之間的支撐凸塊(5)，支撐凸塊上平面的高度大于等于晶片上平面高度，使得蓋板不會直接壓迫所述晶片，支撐塊的厚度小于晶片的厚度，使得晶片在清洗過程中不會從蓋板與底板之間的空隙中脫出。

4.根據權利要求3所述的一種晶片清洗用定位夾具，其特征在于，所述支撐凸塊與底板或蓋板一體設置，或所述支撐凸塊一部分與底板一體設置而另一部分與蓋板一體設置。

5.根據權利要求1所述的一種晶片清洗用定位夾具，其特征在于，所述底板頂面上于排列有若干通孔型腔一以外的區域凹設有若干過水槽一(13)。

6.根據權利要求5所述的一種晶片清洗用定位夾具，其特征在于，所述蓋板頂面于排列有若干通孔二以外的區域設置有若干與底板上過水槽一對應的過水槽二(22)。

7.根據權利要求1～6中任意一項所述的一種晶片清洗用定位夾具，其特征在于，所述底座上于每一個頂塊的位置處分別設置有至少一個過水孔一(32)，過水孔一的上端貫穿至頂塊頂面而連通至晶片底面，過水孔一的下端貫穿至底座底面而連通至夾具以外的區域。

8.根據權利要求1～6中任意一項所述的一種晶片清洗用定位夾具，其特征在于，所述底座上于排列有若干頂塊以外的區域設置有若干過水孔二(33)。

9.根據權利要求1～6中任意一項所述的一種晶片清洗用定位夾具，其特征在于，所述底座材質采用塑料，所述底板和蓋板材質采用不銹鋼或塑料。

10.根據權利要求1～6中任意一項所述的一種晶片清洗用定位夾具，其特征在于，通孔型腔一內側壁凸設的凸緣(12)在水平面內的投影呈圓弧狀，所述頂塊在水平面內的投影呈圓形，使得清洗晶片時，長圓形或腰形晶片的四角位置由同一孔中的四個凸緣(12)支撐而晶片中部由所述頂塊支撐。