[實(shí)用新型]一種有機(jī)真空鍍膜掩膜裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721226927.2
• 申請(qǐng)日: 2017-09-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207435532U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周焱文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢普迪真空科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

1.一種有機(jī)真空鍍膜掩膜裝置，其特征在于，包括樣品架和若干均布設(shè)置在樣品架上的掩膜板系統(tǒng)；

所述樣品架包括樣品旋轉(zhuǎn)軸和設(shè)置在樣品旋轉(zhuǎn)軸下端的旋轉(zhuǎn)盤(pán)，所述樣品旋轉(zhuǎn)軸上端通過(guò)通孔貫穿真空室上蓋，所述通孔上設(shè)置有磁流體密封裝置，所述樣品旋轉(zhuǎn)軸上端連接有步進(jìn)電機(jī)，所述步進(jìn)電機(jī)上設(shè)置有定位裝置，所述旋轉(zhuǎn)盤(pán)上設(shè)置有與掩膜板系統(tǒng)對(duì)應(yīng)的若干樣品座，所述樣品座內(nèi)放置樣品，所述樣品上方放置有壓塊；

所述掩膜板系統(tǒng)包括升降軸、與樣品座相配合并設(shè)置在旋轉(zhuǎn)盤(pán)下方的掩膜板座和放置在掩膜板座內(nèi)的掩膜板，所述升降軸從下往上依次設(shè)置有掩膜板座、旋轉(zhuǎn)盤(pán)、導(dǎo)向套、彈簧和機(jī)械手引導(dǎo)塊，所述升降軸與掩膜板座和旋轉(zhuǎn)盤(pán)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述機(jī)械手引導(dǎo)塊固定在升降軸上端；

其中，所述真空室上蓋還貫穿設(shè)置有真空機(jī)械手，所述真空機(jī)械手到樣品旋轉(zhuǎn)軸的距離與機(jī)械手引導(dǎo)塊到樣品旋轉(zhuǎn)軸的距離等距。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有機(jī)真空鍍膜掩膜裝置，其特征在于：所述定位裝置由光電開(kāi)關(guān)控制。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有機(jī)真空鍍膜掩膜裝置，其特征在于：所述真空機(jī)械手采用磁力驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種有機(jī)真空鍍膜掩膜裝置，其特征在于：所述磁力驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由內(nèi)磁環(huán)與外磁環(huán)組成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有機(jī)真空鍍膜掩膜裝置，其特征在于：所述機(jī)械手引導(dǎo)塊與升降軸上端為過(guò)盈配合。