[實(shí)用新型]防粘合硅片花籃

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721224449.1
• 申請日: 2017-09-22
• 公開（公告）號: CN207134342U
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳宏
• 申請（專利權(quán)）人: 張家港市超聲電氣有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 蘇州市港澄專利代理事務(wù)所(普通合伙)32304
• 代理人: 馬麗麗

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及硅片花籃，特別是涉及一種防粘合硅片花籃。

背景技術(shù)

硅片花籃對于硅片的流轉(zhuǎn)、清洗、檢測等起到承載作用，但是現(xiàn)有技術(shù)中的硅片花籃容易粘合在承載面上，并且因?yàn)楣杵幸欢ǖ目蓮澢裕谑艿酵饬τ绊懴孪噜彽膬晒杵g有出現(xiàn)粘合現(xiàn)象，導(dǎo)致破碎，并且清洗烘干不徹底。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種防粘合硅片花籃，以克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案。

本申請實(shí)施例公開了一種防粘合硅片花籃，包括上端板、下端板，所述上端板具有上左側(cè)板、上右側(cè)板、上連接板，所述下端板具有下左側(cè)板、下右側(cè)板、下連接板，所述上左側(cè)板、下左側(cè)板的外側(cè)均設(shè)置有左側(cè)凸柱，所述上右側(cè)板、下右側(cè)板的外側(cè)均設(shè)置有右側(cè)凸柱，所述上連接板與下連接板之間設(shè)置有至少1個(gè)連接柱，所述上連接板、下連接板的外側(cè)中部均設(shè)置有中部凸柱，所述左側(cè)凸柱、右側(cè)凸柱、中部凸柱的中間部分的直徑小于其兩端部分的直徑，所述上左側(cè)板與下左側(cè)板之間、所述上右側(cè)板與下右側(cè)板之間分別設(shè)置有花籃側(cè)板，所述花籃側(cè)板內(nèi)側(cè)等距離分布有多個(gè)隔片，相鄰兩隔片之間形成用于存放硅片的卡槽，所述隔片上表面均勻凸設(shè)有4個(gè)圓弧凸起，所述隔片下表面均勻凸設(shè)有4個(gè)圓弧凸起，所述隔片上表面的圓弧凸起與下表面的圓弧凸起位于不同豎直線上，所述隔片于硅片進(jìn)入的一端為圓弧面。

優(yōu)選的，在上述的防粘合硅片花籃中，所述卡槽與硅片大小相適應(yīng)。

優(yōu)選的，在上述的防粘合硅片花籃中，所述上端板、下端板與所述花籃側(cè)板分別通過螺栓連接。

優(yōu)選的，在上述的防粘合硅片花籃中，所述左側(cè)凸柱、右側(cè)凸柱、中部凸柱的軸心處分別開設(shè)有圓孔。

優(yōu)選的，在上述的防粘合硅片花籃中，所述花籃側(cè)板采用合金塑料注塑而成。

優(yōu)選的，在上述的防粘合硅片花籃中，所述上連接板與下連接板之間設(shè)置有3個(gè)連接柱。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于卡槽內(nèi)存放硅片，花籃側(cè)板的隔片由于圓弧凸起的設(shè)置，使得隔片與硅片之間為點(diǎn)接觸，不會(huì)與承載面粘合，由于圓弧凸起均勻排列，而且每一側(cè)均設(shè)置有4個(gè)，所以相鄰兩個(gè)硅片之間不會(huì)粘合，從而不會(huì)影響后續(xù)操作流程，比如清洗烘干等；硅片進(jìn)行流轉(zhuǎn)、清洗、檢測等工序時(shí)不需要另外的流轉(zhuǎn)框、清洗框、檢測框等，可以利用左側(cè)凸柱、右側(cè)凸柱將硅片花籃吊起，進(jìn)行流轉(zhuǎn)運(yùn)輸，可以利用中部凸柱卡在相應(yīng)的槽口里，使得硅片在清洗、檢測時(shí)能夠有效的固定。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請中記載的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1所示為本實(shí)用新型具體實(shí)施例中防粘合硅片花籃的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2所示為本實(shí)用新型具體實(shí)施例中防粘合硅片花籃的花籃側(cè)板局部放大圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。