[實(shí)用新型]防粘合硅片花籃

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721224449.1
• 申請(qǐng)日: 2017-09-22
• 公開（公告）號(hào): CN207134342U
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 張家港市超聲電氣有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 蘇州市港澄專利代理事務(wù)所(普通合伙)32304
• 代理人: 馬麗麗

1.一種防粘合硅片花籃，其特征在于，包括上端板、下端板，所述上端板具有上左側(cè)板、上右側(cè)板、上連接板，所述下端板具有下左側(cè)板、下右側(cè)板、下連接板，所述上左側(cè)板、下左側(cè)板的外側(cè)均設(shè)置有左側(cè)凸柱，所述上右側(cè)板、下右側(cè)板的外側(cè)均設(shè)置有右側(cè)凸柱，所述上連接板與下連接板之間設(shè)置有至少1個(gè)連接柱，所述上連接板、下連接板的外側(cè)中部均設(shè)置有中部凸柱，所述左側(cè)凸柱、右側(cè)凸柱、中部凸柱的中間部分的直徑小于其兩端部分的直徑，所述上左側(cè)板與下左側(cè)板之間、所述上右側(cè)板與下右側(cè)板之間分別設(shè)置有花籃側(cè)板，所述花籃側(cè)板內(nèi)側(cè)等距離分布有多個(gè)隔片，相鄰兩隔片之間形成用于存放硅片的卡槽，所述隔片上表面均勻凸設(shè)有4個(gè)圓弧凸起，所述隔片下表面均勻凸設(shè)有4個(gè)圓弧凸起，所述隔片上表面的圓弧凸起與下表面的圓弧凸起位于不同豎直線上，所述隔片于硅片進(jìn)入的一端為圓弧面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防粘合硅片花籃，其特征在于，所述卡槽與硅片大小相適應(yīng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防粘合硅片花籃，其特征在于，所述上端板、下端板與所述花籃側(cè)板分別通過螺栓連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防粘合硅片花籃，其特征在于，所述左側(cè)凸柱、右側(cè)凸柱、中部凸柱的軸心處分別開設(shè)有圓孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防粘合硅片花籃，其特征在于，所述花籃側(cè)板采用合金塑料注塑而成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防粘合硅片花籃，其特征在于，所述上連接板與下連接板之間設(shè)置有3個(gè)連接柱。