[實用新型]一種確定單晶圓棒切割點的裝置

有效

• 申請號: 201721210810.5
• 申請日: 2017-09-19
• 公開（公告）號: CN207351335U
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發明（設計）人: 李林東;汪沛淵;陳偉;歐子楊;王全志;晏文勇;鄧清香;程海燕;金浩
• 申請（專利權）人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
• 主分類號: G01B5/00
• 分類號: G01B5/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種確定單晶圓棒切割點的裝置，其特征在于，包括：

第一平板和第二平板，所述第一平板為正方形平板，所述第二平板為正多邊形平板；

所述第二平板設置在所述第一平板上，所述第一平板和所述第二平板的中心點連線所在的直線垂直于所述第一平板和所述第二平板；

所述第二平板用于當所述第一平板的對角線和端面正方形的對角線相互平行且在同一豎直平面內，偏轉角度為預設偏轉角度時，確定所述第二平板的半徑所在的直線在所述端面上的投影與所述端面的圓周線的交點為切割點；

其中，所述端面正方形為在待切割的單晶圓棒的端面上，單晶圓棒側面的四條棱線和所述端面的交點依次相連組成的正方形；

所述偏轉角度為所述第一平板的半徑所在的直線和所述第二平板的半徑所在的直線之間的夾角。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一平板的半徑長度和所述第二平板的半徑長度等于所述端面的半徑長度。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述第一平板為邊長大小可調的正方形板，所述第二平板為邊長大小可調的正多邊形板。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述第一平板包括中心正方形板和正方形邊框，所述方形邊框具有正方形內框，所述中心方形板可拆卸地安裝在所述方形邊框內框上；

所述第二平板包括中心正多邊形板和正多邊形邊框，所述多邊形邊框具有正多邊形內框，所述中心正多邊形板可拆卸地安裝在所述正多邊形邊框內框上。

5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一平板的半徑和所述第二平板的半徑小于所述端面的半徑，所述第一平板和所述第二平板的各個頂點均沿半徑方向設置有指針。

6.根據權利要求1至5任一項所述的裝置，其特征在于，所述第二平板為正方形平板。

7.根據權利要求1至5任一項所述的裝置，其特征在于，還包括：讀數指針和量角器；

所述讀數指針設置在所述第二平板背向所述第一平板的表面，所述讀數指針和所述第一平板的對角線相互平行且在同一豎直平面內；

所述量角器設置在所述第二平板和所述讀數指針之間，且所述量角器的原點和所述第二平板的中心點重合，零度線和所述第二平板的半徑重合。

8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述量角器為度量范圍為360度的量角器。

9.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，所述讀數指針上設置有角度放大器，以便放大所述量角器上的度量所述讀數指針位置的角度值。

10.根據權利要求1至5任一項所述的裝置，其特征在于，還包括：固定裝置，設置在所述第一平板上，以便將所述第一平板固定在所述端面上。