[實用新型]內孔檢測光學系統及內孔檢測設備有效
| 申請號: | 201721199305.5 | 申請日: | 2017-09-15 |
| 公開(公告)號: | CN207396364U | 公開(公告)日: | 2018-05-22 |
| 發明(設計)人: | 岳國漢 | 申請(專利權)人: | 深圳市牧激科技有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/88 | 分類號: | G01N21/88;G01N21/954 |
| 代理公司: | 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287 | 代理人: | 胡海國;嚴理佳 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市龍崗區坂*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 檢測 光學系統 設備 | ||
1.一種內孔檢測光學系統,用于檢測工件,其特征在于,所述內孔檢測光學系統包括成像棱鏡(100)、分光鏡(200)、感光成像元件(400)和光源(500);
所述成像棱鏡(100)、分光鏡(200)、感光成像元件(400)依次間隔設置,所述成像棱鏡(100)臨近所述工件設置;
所述光源(500)發出的出射光經所述分光鏡(200)反射至所述成像棱鏡(100),經由所述成像棱鏡(100)照射至工件,所述工件反射圖像信息經由所述成像棱鏡(100)、穿過所述分光鏡(200)后在所述感光成像元件(400)中成像。
2.如權利要求1所述的內孔檢測光學系統,其特征在于,所述成像棱鏡(100)和所述分光鏡(200)之間還設置有聚焦鏡(600),所述聚焦鏡(600)正對所述工件的待檢測部位設置。
3.如權利要求2所述的內孔檢測光學系統,其特征在于,所述分光鏡(200)和所述感光成像元件(400)之間還設置有縮放透鏡組(300),所述縮放透鏡組(300)正對所述感光成像元件(400)。
4.如權利要求3所述的內孔檢測光學系統,其特征在于,所述縮放透鏡組(300)包括第二凸透鏡(310)和第三凸透鏡(320),所述第二凸透鏡(310)臨近所述分光鏡(200),所述第三凸透鏡(320)位于所述第二凸透鏡(310)與所述感光成像元件(400)之間,所述第二凸透鏡(310)和所述第三凸透鏡(320)共焦設置,所述第二凸透鏡(310)和所述第三凸透鏡(320)的焦距不相等。
5.如權利要求1至4任一項所述的內孔檢測光學系統,其特征在于,所述成像棱鏡(100)包括入射面(110)和出射面(120),所述入射面(110)朝向所述分光鏡(200)設置,所述出射面(120) 朝向所述工件設置,所述入射面(110)和所述出射面(120)垂直于所述光源(500)發出并經所述分光鏡(200)反射的光線設置。
6.如權利要求5所述的內孔檢測光學系統,其特征在于,所述成像棱鏡(100)還包括第一側面(130)和第二側面(140),所述第一側面(130)與所述入射面(110)連接,所述第二側面(140)連接所述第一側面(130)和所述出射面(120),所述入射面(110)的面積大于所述出射面(120)的面積,所述第二側面(140)傾斜設置。
7.如權利要求1至4任一項所述的內孔檢測光學系統,其特征在于,所述成像棱鏡(100)貫穿設有光通道(170),所述光通道(170)靠近所述分光鏡(200)的一端設有入射口(150)、靠近所述工件的一端設有出射口(160),所述光源(500)發出并經所述分光鏡(200)反射的光線順次經過所述入射口(150)、所述光通道(170)和所述出射口(160)照射到所述工件的待測位置。
8.如權利要求7所述的內孔檢測光學系統,其特征在于,所述成像棱鏡(100)包括第一內表面(171)和第二內表面(172),所述光通道(170)由所述第一內表面(171)和所述第二內表面(172)圍合而成,所述第一內表面(171)連接所述入射口(150)和所述第二內表面(172),所述第二內表面(172)連接所述第一內表面(171)和所述出射口(160),所述第二內表面(172)傾斜設置。
9.如權利要求1至4任一項所述的內孔檢測光學系統,其特征在于,所述光源(500)包括第一凸透鏡(510)和點光源(520),所述第一凸透鏡(510)設于所述點光源(520)和所述分光鏡(200)之間,所述點光源(520)發出的光經由所述第一凸透鏡(510)匯聚至所述分光鏡(200)后,經由所述成像棱鏡(100)反射至所述工件。
10.一種內孔檢測設備,其特征在于,包括如權利要求1至9任一項所述的內孔檢測光學系統。
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