[實用新型]一種晶圓貼膜裝置

有效

• 申請號: 201721194455.7
• 申請日: 2017-09-18
• 公開（公告）號: CN207149538U
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: 陸新城;孔凡偉;劉君;彭朝;王秀錦;孟恒;孫宏輝
• 申請（專利權）人: 山東晶導微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68
• 代理公司: 濟寧匯景知識產權代理事務所(普通合伙)37254
• 代理人: 徐國印

1.一種晶圓貼膜裝置，包括機箱（1）、藍膜膠輥（2）、貼膜臺（3）、貼膜盤（4）、切割機構、橫桿（5）、壓膜機構（6），其特征在于，機箱（1）一端設置有藍膜膠輥（2），機箱（1）另一端設置有貼膜臺（3），橫桿（5）設置在藍膜膠輥（2）和貼膜臺（3）之間，貼膜臺（3）上設置有貼膜盤（4），貼膜盤（4）上方設置有壓膜機構（6）；所述壓膜機構（6）包括移板（7）、壓膜滾輪（8）、滾輪支架（9）、氣缸（10），移板（7）兩側設置有側板（11），移板（7）通過側板（11）以滑動的方式與貼膜臺（3）相連接，移板（7）上固定設置有一組氣缸（10），氣缸（10）的伸縮桿向下延伸與滾輪支架（9）固定連接，滾輪支架（9）下方設置有壓膜滾輪（8），壓膜滾輪（8）兩端以旋轉的方式與滾輪支架（9）相連接；所述貼膜臺（3）側面還設置有一組限位開關（12），限位開關（12）與氣缸（10）以電連接的方式相連接。

2.根據權利要求1所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于，所述貼膜臺（3）兩側設置有滑軸（13），所述側板（11）端部設置有與滑軸（13）相配合的環形滑塊（14）。

3.根據權利要求1所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于，所述限位開關（12）分別設置在移板（7）行程的前端和后端。

4.根據權利要求1所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于，所述移板（7）上還設置有一組限位孔（15）以及與限位孔（15）相配合的限位銷（16），限位銷（16）下端與滾輪支架（9）固定相連，限位銷（16）上端穿過限位孔（15）并外凸于移板（7）表面。

5.根據權利要求1所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于，所述橫桿（5）兩端分別設置有搖桿（17），搖桿（17）一端與橫桿（5）端部以鉸接的方式相連接，搖桿（17）另一端與機箱（1）以鉸接的方式相連接。