[實用新型]易于安裝的石墨舟用定位柱

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721193278.0
• 申請日: 2017-09-18
• 公開（公告）號: CN207217496U
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 齊軼;曹鉞
• 申請（專利權(quán)）人: 上海晶馳炭素有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/673
• 代理公司: 上海三和萬國知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31230
• 代理人: 陳偉勇

1.易于安裝的石墨舟用定位柱，包括石墨制成的定位柱，所述定位柱包括一用于安裝至舟片的定位孔中的安裝部，所述安裝部的左右兩側(cè)分別固定連接有一用于固定硅片的硅片卡接部，其特征在于，所述安裝部包括左右設(shè)置的第一安裝部與第二安裝部；

所述第一安裝部的右側(cè)設(shè)有凸起，所述第二安裝部的左側(cè)設(shè)有與所述凸起相匹配的凹槽，且所述凸起的外壁設(shè)有外螺紋，所述凹槽的內(nèi)壁設(shè)有與外螺紋相匹配的內(nèi)螺紋；

所述第一安裝部與所述第二安裝部通過所述內(nèi)螺紋與所述外螺紋螺紋連接；

還包括在第一安裝部與第二安裝部旋緊時用于夾緊舟片的夾持機構(gòu)，所述夾持機構(gòu)包括石墨制成的第一擋板、石墨制成的第二擋板，所述第一擋板固定在所述第一安裝部，所述第二擋板固定在所述第二安裝部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的易于安裝的石墨舟用定位柱，其特征在于：所述第一擋板接觸舟片側(cè)呈平面狀，所述第一擋板的厚度從靠近第一安裝部處至遠離第一安裝部處逐漸遞減，所述第一擋板上設(shè)有第一通孔；

所述第二擋板接觸舟片側(cè)呈平面狀，所述第二擋板的厚度從靠近第二安裝部處至遠離第二安裝部處逐漸遞減。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的易于安裝的石墨舟用定位柱，其特征在于：所述硅片卡接部包括一限位塊，所述限位塊遠離安裝部側(cè)的橫截面呈菱形，所述限位塊靠近安裝部側(cè)的橫截面呈橢圓；

所述橢圓沿著軸向的投影內(nèi)切于所述菱形；

所述限位塊與安裝部之間設(shè)有一橫截面與限位塊的最小橫截面處相匹配的橢圓柱段；

所述橢圓柱段的外壁與硅片的外輪廓相抵。