[實用新型]自動硅片清洗機掛籃掛構裝置

有效

• 申請號: 201721193253.0
• 申請日: 2017-09-18
• 公開（公告）號: CN207325545U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 郭銳
• 申請（專利權）人: 常州銀河世紀微電子股份有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務所 32225
• 代理人: 孫彬

本實用新型公開了一種自動硅片清洗機掛籃掛構裝置，包括用于安裝在自動硅片清洗機上的掛鉤以及與掛鉤配合使用的掛籃，所述掛鉤包括左右兩個掛板，并且左右掛板設置為：兩個掛板的上端形成的開口大于兩個掛板的下端形成的開口；所述掛籃的兩側壁上安裝有用于掛接在上述掛鉤的兩個掛板內的軸承，所述軸承位于掛籃的側壁的內部，所述軸承由兩個掛板的上端開口進入，隨著兩個掛板間距離的變小，軸承掛在兩個掛板內，由掛鉤帶著移動至目標位置。本實用新型提供一種自動硅片清洗機掛籃掛構裝置，采用柔性接觸軸承連接，掛籃掛構可牢固連接的范圍大。

技術領域

本實用新型涉及一種自動硅片清洗機掛籃掛構裝置。

背景技術

老式的自動硅片清洗機掛籃在設計上有缺陷，經常出現掛籃和掛鉤掛不上，出現脫鉤的問題，造成掛籃和里面的硅片從高處掉落損壞。老式的掛籃與掛鉤是一種硬接觸形式的連接，掛籃與掛鉤都是嵌套式裝置，對掛籃的位置要求精度高，沒有緩沖的空間，只有掛籃運行到指定的位置上，掛鉤下落后才能跟掛籃進行連接，如果掛籃在行進過程中出現誤差或其他原因導致的位置偏差，導致掛籃沒有達到指定的位置，這時掛鉤下落時就無法準確的與掛籃進行安全緊密的嵌套連接，如果掛鉤繼續上升就會出現把掛籃帶到高處脫落的問題，造成掛籃和硅片的損壞。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是：克服現有技術的不足，提供一種自動硅片清洗機掛籃掛構裝置，采用柔性接觸軸承連接，掛籃掛構可牢固連接的范圍大。

為了解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是：一種自動硅片清洗機掛籃掛構裝置，包括用于安裝在自動硅片清洗機上的掛鉤以及與掛鉤配合使用的掛籃，所述掛鉤包括左右兩個掛板，并且左右掛板設置為：兩個掛板的上端形成的開口大于兩個掛板的下端形成的開口；所述掛籃的兩側壁上安裝有用于掛接在上述掛鉤的兩個掛板內的軸承，所述軸承位于掛籃的側壁的內部，所述軸承由兩個掛板的上端開口進入，隨著兩個掛板間距離的變小，軸承掛在兩個掛板內，由掛鉤帶著移動至目標位置。

進一步，所述掛籃的相對的內壁上各安裝一個軸承，所述掛鉤也設置有兩個，并且安裝在自動硅片清洗機的機械手的對應位置上，所述軸承為單向軸承，并且所述兩個軸承互為反向安裝，以使其中一個逆時針轉動，另一個順時針轉動。

進一步，所述掛籃的兩側壁之間設置有多個加強筋，加強筋、側壁以及掛籃的底壁共同圍成容納硅片清洗花籃的空間，以將掛籃內的硅片清洗花籃限制在上述空間內。

采用了上述技術方案，本實用新型將原來的機械硬接觸的嵌套裝置改造成柔性接觸的軸承，相互配合的兩個掛板構成一個掛鉤，即使掛鉤或者掛籃的位置有偏差，但只要掛籃的軸承處于掛鉤的三角型開口區域內即可實現連接，由于軸承是可以旋轉的，只要跟掛鉤的掛板接觸到就可以完全滑落到掛鉤內，避免了老式掛籃經常出現的脫落、變形和損壞等問題；本實用新型采用了單向軸承，單向軸承的特點就是只能往一邊旋轉，單向軸承在掛籃的兩側壁上互為反向安裝，一個逆時針轉動，一個順時針轉動，形成反向的力矩，能夠有效避免掛籃提到空中后晃蕩的問題。

附圖說明

圖1為本實用新型的自動硅片清洗機掛籃掛構裝置整體結構示意圖；

圖2為本實用新型的掛鉤安裝在自動硅片清洗機的機械手上的裝配圖；

圖3為本實用新型的掛籃的結構示意圖；

圖4為本實用新型的工作原理圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明。