[實用新型]自動硅片清洗機掛籃掛構裝置

有效

• 申請號: 201721193253.0
• 申請日: 2017-09-18
• 公開（公告）號: CN207325545U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 郭銳
• 申請（專利權）人: 常州銀河世紀微電子股份有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務所 32225
• 代理人: 孫彬

1.一種自動硅片清洗機掛籃掛構裝置，其特征在于：包括用于安裝在自動硅片清洗機上的掛鉤(1)以及與掛鉤(1)配合使用的掛籃(2)，所述掛鉤(1)包括左右兩個掛板，并且左右掛板設置為：兩個掛板的上端形成的開口大于兩個掛板的下端形成的開口；所述掛籃(2)的兩側壁(5)上安裝有用于掛接在上述掛鉤(1)的兩個掛板內的軸承(3)，所述軸承(3)位于掛籃(2)的側壁(5)的內部，所述軸承(3)由兩個掛板的上端開口進入，隨著兩個掛板間距離的變小，軸承(3)掛在兩個掛板內，由掛鉤(1)帶著移動至目標位置。

2.根據權利要求1所述的自動硅片清洗機掛籃掛構裝置，其特征在于：所述掛籃(2)的相對的側壁(5)的內部各安裝一個軸承(3)，所述掛鉤(1)也設置有兩個，并且安裝在自動硅片清洗機的機械手的對應位置上，所述軸承(3)為單向軸承，并且所述兩個軸承(3)互為反向安裝。

3.根據權利要求2所述的自動硅片清洗機掛籃掛構裝置，其特征在于：所述掛籃(2)的兩側壁(5)之間設置有多個加強筋(4)，加強筋(4)、側壁(5)以及掛籃(2)的底壁(6)共同圍成容納硅片清洗花籃的空間，以將掛籃(2)內的硅片清洗花籃限制在上述空間內。