[實用新型]一種腔室密封結構的半導體加工設備

有效

• 申請號: 201721193175.4
• 申請日: 2017-09-18
• 公開（公告）號: CN207503919U
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發明（設計）人: 吳燕發
• 申請（專利權）人: 南安市品龍新材料科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種腔室密封結構的半導體加工設備，其結構包括傳輸帶(1)、支撐面板(2)、支撐架(3)、電機箱(4)、加工器(5)、數控面板(6)、指示燈(7)、圓棍封密裝置(8)，所述傳輸帶(1)為長方體結構，切面為長方形長為7-8cm，其特征在于：

所述傳輸帶(1)左側底端與旋轉軸承采用間隙配合方式活動連接，所述支撐面板(2)為長方體結構，切面為長方形長為8-9cm，共設有2塊，所述支撐架(3)上端為圓柱體結構，底端為圓盤狀結構，上下端焊接為一體化結構，所述電機箱(4)為中空式長方體結構，切面為長方形長為5-6cm，上端與支撐面板(2)底端采用過盈配合方式活動連接，所述加工器(5)為長方體結構，切面為長方形長為4-5cm，底端與支撐面板(2)采用過盈配合方式活動連接，所述數控面板(6)高為5-6cm，底端與支撐面板(2)采用過渡配合方式活動連接，所述指示燈(7)為圓柱體結構，切面為長方形長為4cm，截面為圓形半徑為1cm，底端與封蓋采用過盈配合方式活動連接，所述圓棍封密裝置(8)為圓柱體結構，切面為長方形長為4cm，截面為圓形半徑為0.8cm，設在封蓋內部，且兩端與封蓋采用間隙配合方式活動連接；

所述圓棍封密裝置(8)由緊固器(801)、面板(802)、轉軸(803)、傳動盒(804)、傳動桿(805)、滾輪(806)組成，所述緊固器(801)為圓柱體結構，切面為長方形長為2cm，底端貫穿支撐柱與面板(802)采用過盈配合方式活動連接，所述面板(802)為長方體結構，切面為長方形長為5-6cm，厚度為2cm，所述轉軸(803)圓形結構，切面為長方形長為2cm，右側與傳動桿(805)采用過盈配合方式活動連接，所述傳動桿(805)切面為長方形長為3cm，底端右側與傳動盒(804)采用過盈配合方式活動連接，所述傳動盒(804)為長方體結構，切面為長方形長為4cm，底端與面板采用過盈配合方式活動連接，所述滾輪(806)為圓柱體結構，切面為長方形長為4-5cm，截面為圓形半徑為2cm，兩端與支撐板采用間隙配合方式活動連接。

2.根據權利要求1所述的一種腔室密封結構的半導體加工設備，其特征在于：所述傳輸帶(1)左側與旋轉軸承相互旋轉采用間隙配合方式活動連接。

3.根據權利要求1所述的一種腔室密封結構的半導體加工設備，其特征在于：所述支撐面板(2)共設有2個，對稱平行相隔4cm。

4.根據權利要求1所述的一種腔室密封結構的半導體加工設備，其特征在于：所述支撐架(3)上端貫穿電機箱(4)通過螺絲采用過盈配合方式活動連接。

5.根據權利要求1所述的一種腔室密封結構的半導體加工設備，其特征在于：所述電機箱(4)底端四角設有半徑為0.2cm的圓形通口。

6.根據權利要求1所述的一種腔室密封結構的半導體加工設備，其特征在于：所述加工器(5)底端與支撐面板(2)采用過盈配合方式活動連接。