[實用新型]一種太陽能電池擴散用石英爐管有效

申請號：	201721189156.4	申請日：	2017-09-15
公開（公告）號：	CN207558745U	公開（公告）日：	2018-06-29
發明（設計）人：	崔美麗;符欣;金起弘	申請（專利權）人：	韓華新能源（啟東）有限公司
主分類號：	H01L21/223	分類號：	H01L21/223;H01L31/18
代理公司：	蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103	代理人：	孫仿衛;林傳貴
地址：	215221 江蘇省***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	太陽能電池石英管擴散石英爐管本實用新型硅片外界雜質轉換效率潔凈度內截面石英舟外截面狀態時產能回溫爐管爐門冷空氣承載污染配合保證
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【說明書】：

本實用新型公開了一種太陽能電池擴散用石英爐管，包括石英管口，所述石英管口的外截面為圓形，所述石英管口的內截面為與硅片以及承載所述硅片的石英舟相配合的形狀。本實用新型的一種太陽能電池擴散用石英爐管能夠保證石英管口的爐門處于打開狀態時，進入爐管的冷空氣和雜質相對減少，既能減少回溫時間、提高擴散產能，又能避免外界雜質的污染，從而提高擴散的潔凈度而提高太陽能電池的轉換效率。

技術領域

本實用新型屬于太陽能電池片制造技術領域，具體涉及一種太陽能電池擴散用石英爐管。

背景技術

隨著能源的不斷消耗和能源價格的上漲，新能源的開發利用成為當今能源領域研究的主要課題。隨著光伏技術不斷的發展，作為將太陽能轉化為電能的半導體器件的太陽能電池產品得到了快速的開發。

晶硅太陽能電池生產工藝流程中，需經過擴散工藝過程形成PN結，此工藝過程需要高的潔凈度和長時間的800℃以上的高溫過程。傳統的擴散用石英管采用直徑310mm的圓形的管口設計，如圖1所示，圖中1為外截面，2為內截面，1、2均為圓形，相對于方形的硅片，管口尺寸過大。在使用時，承載硅片的石英舟由石墨槳緩緩送入石英管的過程中，由于石英管的爐門處于打開狀態，外界的空氣和雜質很容易進入到爐管中，影響后面擴散過程的潔凈度，從而影響最終太陽能電池的光電轉換效率；同時，外界冷空氣進入爐管中，使爐管內的溫度由開門前的800℃快速降低至700℃以下，在擴散通源前需要長時間的加熱回復爐溫。

發明內容

有鑒于此，為了克服現有技術的缺陷，本實用新型的目的是提供一種太陽能電池擴散用石英爐管，其既能減少回溫時間、提高擴散產能，又能避免外界雜質的污染，從而提高擴散的潔凈度而提高太陽能電池的轉換效率。

為了達到上述目的，本實用新型采用以下的技術方案：

一種太陽能電池擴散用石英爐管，包括石英管口，所述石英管口的外截面為圓形，所述石英管口的內截面為與硅片以及承載所述硅片的石英舟相配合的形狀。

優選地，所述內截面為多邊形。

更加優選地，所述多邊形為正多邊形。

更加優選地，所述多邊形為矩形。

進一步優選地，所述矩形的底邊平行于水平面設置。

進一步優選地，所述矩形為正方形。

還優選地，所述正方形的底邊平行于水平面設置。

還優選地，所述正方形的邊長為200mm。

優選地，所述內截面的中點與所述外截面圓形的圓心重合。