[實用新型]一種太陽能電池擴(kuò)散用石英爐管有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721189156.4 | 申請日： | 2017-09-15 |
| 公開（公告）號： | CN207558745U | 公開（公告）日： | 2018-06-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 崔美麗;符欣;金起弘 | 申請（專利權(quán)）人： | 韓華新能源（啟東）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/223 | 分類號： | H01L21/223;H01L31/18 |
| 代理公司： | 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103 | 代理人： | 孫仿衛(wèi);林傳貴 |
| 地址： | 215221 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 太陽能電池 石英管 擴(kuò)散 石英爐管 本實用新型 硅片 外界雜質(zhì) 轉(zhuǎn)換效率 潔凈度 內(nèi)截面 石英舟 外截面 狀態(tài)時 產(chǎn)能 回溫 爐管 爐門 冷空氣 承載 污染 配合 保證 | ||
1.一種太陽能電池擴(kuò)散用石英爐管，包括石英管口，其特征在于：所述石英管口的外截面為圓形，所述石英管口的內(nèi)截面呈與硅片以及承載所述硅片的石英舟相配合的形狀；所述內(nèi)截面的中點(diǎn)與所述外截面圓形的圓心重合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池擴(kuò)散用石英爐管，其特征在于：所述內(nèi)截面為多邊形。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種太陽能電池擴(kuò)散用石英爐管，其特征在于：所述多邊形為正多邊形。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種太陽能電池擴(kuò)散用石英爐管，其特征在于：所述多邊形為矩形。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種太陽能電池擴(kuò)散用石英爐管，其特征在于：所述矩形的底邊平行于水平面設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種太陽能電池擴(kuò)散用石英爐管，其特征在于：所述矩形為正方形。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種太陽能電池擴(kuò)散用石英爐管，其特征在于：所述正方形的底邊平行于水平面設(shè)置。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種太陽能電池擴(kuò)散用石英爐管，其特征在于：所述正方形的邊長為200mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池擴(kuò)散用石英爐管，其特征在于：所述石英爐管的材質(zhì)為石英。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
