[實(shí)用新型]一種新型晶圓表面貼膜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721187938.4
• 申請日: 2017-09-17
• 公開（公告）號: CN207199580U
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陸孫華
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州英爾捷微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京志霖恒遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11435
• 代理人: 周丹

1.一種新型晶圓表面貼膜裝置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的后側(cè)固定有兩個固定桿(21)，兩個固定桿(21)的上端通過轉(zhuǎn)軸(3)轉(zhuǎn)動連接有掀板(2)，所述掀板(2)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)盤(13)，所述轉(zhuǎn)盤(13)的內(nèi)部開設(shè)有滑槽(12)，所述滑槽(12)的內(nèi)部滑動連接有切割刀(14)，所述切割刀(14)的中部固定有兩個滑柱(19)，兩個滑柱(19)的兩端分別滑動連接在位于滑槽(12)兩側(cè)壁上的滑道(17)內(nèi)，所述切割刀(14)的上端開設(shè)有空腔(141)，所述空腔(141)的腔底連接有彈簧(18)，所述彈簧(18)的上端與滑塊(16)固定連接，所述切割刀(14)的上端滑動插接在滑塊(16)的內(nèi)部，所述切割刀(14)的下端和開設(shè)在拆卸盤(15)上端面的V型缺口(152)活動連接，且切割刀(14)和V型缺口(152)之間設(shè)有薄膜(7)，所述薄膜(7)的一端為薄膜卷(6)，薄膜卷(6)為薄膜(7)組成的卷狀物，所述薄膜卷(6)轉(zhuǎn)動連接在V型固定架(5)上，所述V型固定架(5)固定在底座(1)的一側(cè)，所述薄膜(7)遠(yuǎn)離薄膜卷(6)的另一端卷在卷軸(9)上，所述卷軸(9)轉(zhuǎn)動連接在支架(8)上，所述支架(8)固定在底座(1)遠(yuǎn)離V型固定架(5)的一側(cè)，所述轉(zhuǎn)盤(13)上且位于滑槽(12)兩側(cè)設(shè)有多個對稱卡槽(11)，所述滑塊(16)底面兩側(cè)設(shè)有卡銷(161)，所述卡銷(161)與卡槽(11)卡接；

所述拆卸盤(15)活動連接在位于抽盒(4)上表面的圓槽(41)內(nèi)，所述拆卸盤(15)底部設(shè)有的底柱(151)和位于圓槽(41)底部的圓孔活動卡接，所述抽盒(4)滑動連接在內(nèi)腔(101)中，所述內(nèi)腔(101)設(shè)在底座(1)的內(nèi)部，所述拆卸盤(15)的上表面開設(shè)有空槽(153)，且空槽(153)位于V型缺口(152)內(nèi)側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型晶圓表面貼膜裝置，其特征在于：所述所述掀板(2)和抽盒(4)的一側(cè)均設(shè)有把手，且轉(zhuǎn)盤(13)的上端一側(cè)也設(shè)有把手。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型晶圓表面貼膜裝置，其特征在于：所述卷軸(9)的前端貫穿支架(8)并連接有搖把(10)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型晶圓表面貼膜裝置，其特征在于：所述底座(1)的上表面前端兩側(cè)均設(shè)有頂桿(20)，所述頂桿(20)和掀板(2)活動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型晶圓表面貼膜裝置，其特征在于：所述底座(1)的上端兩側(cè)均通過固定塊轉(zhuǎn)動連接有擋桿(22)，且薄膜(7)繞過兩個擋桿(22)。