[實用新型]硅片承載孔個數可調式石墨框

有效

• 申請號: 201721186397.3
• 申請日: 2017-09-15
• 公開（公告）號: CN207217490U
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發明（設計）人: 齊軼;曹鉞
• 申請（專利權）人: 上海晶馳炭素有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 上海三和萬國知識產權代理事務所(普通合伙)31230
• 代理人: 陳偉勇

技術領域

本實用新型涉及機械技術領域，具體涉及石墨框。

背景技術

石墨框是鍍膜機臺用于承載硅片的承載裝置。

石墨框上設有用于承載硅片的承載孔。現有的石墨框往往是采用一體化成型結構，硅片承載孔的個數無法實現針對不同的產能需求實時進行調整。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供硅片承載孔個數可調式石墨框，解決以上至少一個技術問題。

本實用新型所解決的技術問題可以采用以下技術方案來實現：

硅片承載孔個數可調式石墨框，包括一石墨框，其特征在于，所述石墨框包括母框與子框；

所述母框上開設有24個硅片承載孔，24個硅片承載孔呈四行六列排布；

所述子框上開設有6個硅片承載孔，6個硅片承載孔呈一行六列排布；

所述母框與所述子框通過連接機構可拆卸連接，所述連接機構包括開設在母框上的滑槽，一設置在子框上的條狀凸起，所述滑槽與所述條狀凸起滑動連接，所述滑槽的引導方向為橫向；

所述母框的前后兩側均開設有所述滑槽，且母框的上表面刻設有長度方向為縱向的第一刻度線；

所述子框的上表面靠近設有條狀凸起側也刻設有長度方向為縱向的第二刻度線；

所述第一刻度線距離所述母框左側的間距等于第二刻度線距離所述子框左側的間距。

本專利的創造點在于：(1)將傳統一體化成型的石墨框改良為分體式，便于根據不同的生產需求，增加子框的個數，實現加工的硅片個數的實時調整，實現不同的產能需求。

(2)通過優化連接機構的結構，便于保證母框與子框的拆裝與組合。通過母框的前后兩側均設有滑槽，便于子框安裝在母框的前后至少一處。

(3)通過第一刻度線與第二刻度線實現母框與子框可拆卸連接時的對位。

作為一種優選方案，所述母框與所述子框還通過輔助連接裝置可拆卸連接；

所述輔助連接機構設有至少三個，所述輔助連接機構包括石墨條，所述石墨條上沿著石墨條的長度方向設有5個等間距排布的圓柱狀凹槽；

所述輔助連接機構還包括分別設置在所述母框與所述子框上用于插入同一石墨條的圓柱狀凹槽的圓柱狀凸起，所述圓柱狀凸起的突出方向向下；

所述子框上用于插入單個石墨條上圓柱狀凹槽的圓柱狀凸起設有一個；

所述母框上用于插入單個石墨條上圓柱狀凹槽的圓柱狀凸起設有三個。

本專利通過輔助連接機構實現母框與子框連接后的定位固定，防止滑動連接導致的發生相對運動。本專利通過輔助連接機構設有至少三個，便于保證整體的放置平穩性。此外，通過石墨條還可以作為加強筋，提高石墨框的整體支撐強度。

當母框與子框通過條狀凸起與滑槽相連后，將石墨條上的圓柱狀凹槽內插入圓柱狀凸起，實現子框與子框相對位置的固定。

作為另一優選方案，所述母框與所述子框還通過輔助連接裝置可拆卸連接；

所述輔助連接裝置包括兩個螺絲、一螺絲鎖緊件，所述螺絲鎖緊件上開設有分別用于螺紋連接兩個螺絲的兩個螺紋孔；

所述螺絲的頭部位于石墨框的下方，所述螺絲鎖緊件位于石墨框的上方；

所述母框設有用于穿過兩個螺絲中的一個螺絲的母框通孔，所述子框上設有用于穿過兩個螺絲中的另一個螺絲的子框通孔；

所述母框通孔位于靠近所述母框與子框的連接處；

所述子框通孔位于靠近所述母框與子框的連接處。

通過輔助連接裝置，實現母框與子框連接后的定位固定，防止滑動連接導致的發生相對運動。

當母框與子框通過條狀凸起與凹槽滑動連接后，螺絲鎖緊件的兩個螺紋孔分別與母框通孔、子框通孔對位，然后將一個螺絲旋入母框通孔與一螺紋孔螺紋連接，另一個螺絲旋入子框通孔與另一螺紋孔螺紋連接。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種結構示意圖；

圖2為本實用新型的一種剖視圖；

圖3為本實用新型的具體實施例1的一種結構示意圖；

圖4為本實用新型的具體實施例2的一種剖視圖；

圖5為本實用新型具體實施例2的一種結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示進一步闡述本實用新型。